[发明专利]一种智能芯片喷膜仪及其喷膜方法

说明书

本发明公开的一种智能芯片喷膜仪及其喷膜方法，包括外壳，所述外壳内设有内腔，所述内腔内设有夹紧装置，所述夹紧装置包括与所述内腔左壁面固定连接的驱动固定块，所述驱动固定块前端面设有开口向前的驱动槽，所述驱动槽内设有上下滑动的驱动滑块；本发明结构简单，使用简便，可实现芯片的快速喷膜加工操作，且在喷膜过程中，芯片的冷却时间与芯片自身重量成正比，其可大大优化喷膜质量，且喷膜液的供给量也是与芯片自身重量成正比，其可避免喷膜液在喷膜过程中造成浪费，降低使用成本，且本申请在芯片的传送过程中可根据前者芯片的质量决定后者芯片的传送速度，可实现精准的传送时间控制，提高智能化程度，以及喷膜效率。

技术领域

本发明涉及芯片加工技术领域，具体为一种智能芯片喷膜仪及其喷膜方法。

背景技术

芯片又称微电路、集成电路；芯片喷膜是芯片生产工艺中的重要步骤，但是现有技术多采用传送带传送芯片，对于质量大小不一的芯片，其喷膜冷却时间不一，采用传送带传送，无法控制喷膜时间，对芯片的喷膜质量造成严重影响。

发明内容

针对上述技术的不足，本发明提出了一种智能芯片喷膜仪及其喷膜方法，能够克服上述缺陷。

为解决上述问题，本发明一种智能芯片喷膜仪，包括外壳，所述外壳内设有内腔，所述内腔内设有夹紧装置，所述夹紧装置包括与所述内腔左壁面固定连接的驱动固定块，所述驱动固定块前端面设有开口向前的驱动槽，所述驱动槽内设有上下滑动的驱动滑块，所述驱动滑块前壁面铰接设有夹具杆，所述夹具杆下壁面固定设有夹具块，所述夹具块内设有开口向下的夹具滑槽，所述夹具滑槽内上下滑动设有夹具滑块，所述夹具滑块上壁面与所述夹具滑槽上壁面之间连接设有电磁弹簧，所述夹具滑槽左壁面固定设有感应卡，所述内腔内设有冷却装置，所述冷却装置包括与所述驱动固定块右端面固定连接的冷却固定块，所述冷却固定块内设有开口向下的冷却槽，所述冷却槽内上下滑动设有冷却滑块，所述冷却滑块上壁面与所述冷却槽上壁面之间连接设有两条冷却弹簧，所述冷却固定块下壁面固定设有安装块，所述安装块内壁面固定设有风扇固定杆，所述风扇固定杆下端面固定设有风扇轴，所述风扇轴外壁面固定设有成环形的六个风扇页，通过所述冷却装置完成对芯片喷膜后的快速冷却，所述内腔内设有喷膜装置，所述喷膜装置包括与所述内腔右壁面固定连接的喷膜壳体，所述喷膜壳体内设有喷膜液腔，所述喷膜液腔内左右滑动设有第一滑块，所述喷膜壳体内设有滑腔，所述滑腔内上下滑动设有第二滑块，所述第一滑块右壁面与所述喷膜液腔右壁面之间连接有复位弹簧，所述喷膜壳体左壁面固定设有与所述喷膜液腔相通的喷嘴，通过所述喷嘴实现喷膜液的喷洒，所述内腔内设有传动装置，所述传动装置包括与所述内腔左右壁面固定连接的载物基板，所述载物基板上设有开口向上的载物槽，所述载物槽内设有载物台，所述载物台的下壁面与所述载物槽下壁面之间连接有载物弹簧，所述载物台与所述第一滑块之间铰接有第一摇杆，所述第二滑块与所述第一滑块之间连接设有第二摇杆，所述载物基板前壁面固定设有变速固定块，所述变速固定块内设有变速槽，所述变速槽内设有上下倾斜滑动的变速滑块，所述变速滑块上壁面固定设有推动杆，所述推动杆上壁面固定设有变速移动滑板，所述变速移动滑板上壁面滑动设有与所述第二滑块下壁面固定连接的喷膜液推杆。

其中，所述夹紧装置还包括与所述夹具滑块下壁面固定连接的夹具压杆，所述夹具压杆下壁面固定设有夹具压板，所述夹具块上铰接有左右对称的摆臂，所述摆臂下固定设有夹具摇块，所述夹具摇块内设有夹具摇杆滑槽，所述夹具摇杆滑槽内上下滑动设有夹具摇杆滑块，所述夹具摇杆滑块与所述夹具滑块之间铰接有夹具摇杆，通过所述夹具摇杆实现夹紧。

其中，所述冷却装置还包括设置于所述内腔后壁面的驱动电机，所述驱动电机前壁面转动设有第一轴，所述第一轴前壁面固定设有第一齿轮，所述第一齿轮前壁面固定设有第一铰接点，所述第一铰接点与所述驱动滑块之间铰接有第三摇杆，所述内腔后壁面转动设有第二轴，所述第二轴前壁面固定设有与所述第一齿轮相啮合的第二齿轮，所述冷却固定块前壁面转动设有从动轴，所述从动轴前壁面固定与所述第二齿轮相啮合的从动轮，所述从动轮与所述冷却滑块之间铰接有冷却摇杆，通过所述从动轮、第二齿轮以及所述第一齿轮之间的齿轮差实现的所述从动轴快速转动。