[发明专利]一种亚磷酸三甲酯精馏尾气除臭方法和设备

说明书

本申请公开了亚磷酸三甲酯精馏尾气除臭方法和设备，该方法包括：将精馏工况下产生的亚磷酸三甲酯尾气进行第一净化；将所述第一净化后输出的气体进行第二净化。通过本申请解决现有技术中的亚磷酸三甲酯精馏产生的尾气恶臭问题，在一定程度上减少了亚磷酸三甲酯精馏产生的尾气中的恶臭，有利于环境保护和员工的身心健康。

技术领域

本申请涉及化工生产中废气处理领域，具体而言，涉及一种亚磷酸三甲酯精馏尾气除臭方法和设备。

背景技术

在半导体沉积材料中，亚磷酸三甲酯(TMP)是晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的主要磷源。然而制备磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)，要求TMP的主含量在99.99％以上，纯度达8.5N以上才能满足需求，因此生产工艺中则需要对TMP进行精馏。

发明人发现，该工艺使用简单，但却因TMP易挥发，产生有刺激性苦臭味，容易造成现场恶臭，损害生产人员的身体健康，不利于生产操作的正常进行。现有大多数专利，如CN107840858A亚磷酸三甲酯连续减压精馏工艺中，对尾气处理并没有做重点说明，仅仅只是将尾气送至尾气处理塔，并未具体说明尾气处理净化效果；专利CN101306900A、CN105314780A等，也仅仅只是针对TMP的废水处理工艺，并未提及因亚磷酸三甲酯挥发造成的现场恶臭如何处理；河南化工1997年第二期亚磷酸三甲酯恶臭的控制中，提供了一种处理尾气的工艺及设备，使用水吸收塔和化学氧化塔处理，然后再排放，但是此方法设备过于复杂，需要两个塔同时使用，增加了尾气处理的设备成本。因此亚磷酸三甲酯精馏产生的尾气恶臭问题一直没有得到重视及很好的解决。

发明内容

本申请提供一种亚磷酸三甲酯精馏尾气除臭方法和设备，以解决现有技术中的亚磷酸三甲酯精馏产生的尾气恶臭问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种亚磷酸三甲酯精馏尾气除臭方法，包括：将精馏工况下产生的亚磷酸三甲酯尾气进行第一净化；将所述第一净化后输出的气体进行第二净化；其中，所述第一净化使用有机溶剂，所述第二净化使用氧化剂和吸附剂中的至少之一；或者，所述第一净化使用所述氧化剂和所述吸附剂中的至少之一，所述第二净化使用所述有机溶剂；所述有机溶剂至少用于溶解所述尾气中的亚磷酸三甲酯，所述吸附剂用于吸附所述尾气中的亚磷酸三甲酯，所述氧化剂用于氧化所述尾气中的亚磷酸三甲酯。

进一步地，所述有机溶剂用于溶解所述尾气中的亚磷酸三甲酯、三氯化硼和三乙胺。

进一步地，所述有机溶剂的亚磷酸三甲酯的溶解能力为15g-50g/100g，其他气体的溶解能力为10g-60g/100g。

进一步地，所述有机溶剂为甲醇、乙醇、乙醚以及苯、丙酮、四氯化碳等溶剂；所述有机溶剂优选为乙醇。

进一步地，所述吸附剂包括：酯类吸附剂、MOFs或者吸附树脂；和/或，所述氧化剂包括：活性氧化铝、二氧化锰、高锰酸钾、过氧化钠Na2O2、过氧化钾K2O2、过氧化镁MgO2或者过氧化钙CaO2。优先使用活性氧化铝、高锰酸钾、过氧化钠3种搭配使用或者过氧化钠、过氧化钾、过氧化钙3种配合使用。

根据本申请的另一个方面，还提供了一种亚磷酸三甲酯精馏尾气除臭设备，用于执行上述的方法，所述设备包括：第一净化装置，用于执行所述第一净化；第二净化装置，与所述第一净化装置连接，用于执行所述第二净化。

进一步地，所述第二净化装置的底部连接所述第一净化装置，所述第二净化装置的上端用于排气；所述第二净化装置包括至少两层筛孔板，所述两层筛孔板上分别放置有所述氧化剂和所述吸附剂。

进一步地，气体从所述第二净化装置的底部依次经过所述两层筛孔板中的第一筛孔板和第二筛孔板，其中，所述第一筛孔板在所述第二净化装置的底部和所述第二筛孔板之间，所述第一筛孔板和所述第二筛孔板之间用于放置所述氧化剂，所述第二筛孔板和所述第二净化装置的上端之间用于放置所述吸附剂。