[发明专利]非密闭式蝶阀及其制造方法

说明书

本发明涉及非密闭式蝶阀及其制造方法。提供一种能够防止真空室被骤然排气的非密闭式蝶阀，以及提高一种容易提高蝶阀体的装配位置的精度的非密闭式蝶阀的制造方法。蝶阀体(9)具有在阀闭时面向流路(30)的下游侧的下游侧端面(9d)、以及使间隙(G)为最小的最大外径部(9b)，在外周整个周界上具有第一倒角(9f)，该第一倒角(9f)使蝶阀体(9)的直径从最大外径部(9b)朝向下游侧端面(9d)缩小，第一倒角(9f)相对于蝶阀体(9)的厚度方向的角度(θ)为5°以下，并且，第一倒角(9f)与下游侧端面(9d)相交的棱线(RL1)进入以轴心(XL)为中心的、通过最大外径部(9b)的虚拟圆(VC)的范围内。

技术领域

本发明涉及一种非密闭式蝶阀及其制造方法，该非密闭式蝶阀配设在将真空室与真空泵连接的配管上，并且进行真空室的真空压力控制，该非密闭式蝶阀具有：流路；连杆，其配置在与流路正交的方向上；以及圆盘状的蝶阀体，其与连杆结合，并且随着连杆以轴心为中心的转动而转动，由此进行流路的开启闭合，阀闭时在流路的内周面与蝶阀体的外周面之间具有规定的间隙。

背景技术

以往，在半导体制造工序中，在真空室与真空泵之间配置电导较大的蝶阀来作为真空压力控制装置，来控制真空室的真空压力的情况较多。例如，使用通过电动机使连杆旋转、由此与连杆结合的蝶阀体与环状的阀座接触分离的、专利文献1所公开那样的蝶阀。

此外，在作为晶圆保护膜形成技术的、近年来普及的原子层沉积法(ALD法)中，只要能够控制真空室的压力即可，不需要在蝶阀阀闭时完全密封流路，因此，有时使用即使在阀闭时也在流路的内周面与蝶阀体的外周面之间具有规定的间隙的非密闭式蝶阀。

作为非密闭式蝶阀，存在例如图11和图12所示的非密闭式蝶阀101那样的蝶阀。蝶阀体109是圆盘状，在阀闭时作为蝶阀体109的圆弧部109b的顶点的最大外径部109a与流路130的内周面以几十μm的间隙相对。然后，该间隙作为流路130的节流孔150发挥功能。再有，节流孔150中的、流路130的内周面与最大外径部109a的棱线支配性地起到作为节流孔的功能，最大外径部109a以外的圆弧部109b与最大外径部109a相比，不会作为节流孔有效地发挥功能。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019-19851号公报。

发明内容

发明要解决的问题

然而，在上述现有技术中存在以下那样的问题。

非密闭式蝶阀的节流孔中的、流路的内周面与最大外径部形成的棱线支配性地起到作为节流孔的功能，由于没有与流路平行的方向上的长度，所以不期望与流路平行的方向上的长度起到节流孔的效果，即使在阀闭时节流孔的效果也较小。此外，即使在连杆开始旋转的旋转角度较小的状态下，也存在骤然失去由最大外径部与流路的间隙所引起的节流孔的功能的可能性。像这样当节流孔的效果较小时，存在骤然进行真空室的排气的可能性，当骤然进行真空室的排气时，真空室的压力值骤然降低，存在引起附着于真空室的壁面上的颗粒上扬、或固定在真空室内的晶圆的位置偏离的可能性。颗粒上扬或晶圆的位置偏离在招致半导体的不良率增大这一点是问题。

此外，最大外径部与流路的间隙为前述那样几十μm是非常小的，因此，当蝶阀体的装配位置的精度较低，在连杆旋转来进行蝶阀体的开启闭合时，存在蝶阀体的最大外径部干扰流路的内周面的可能性。为了防止该干扰，对蝶阀体的装配位置要求非常高的精度，因此，存在难以管理装配位置的精度这样的问题。

本发明是为了解决上述问题点而完成的，其目的在于提供一种能够防止真空室被骤然排气的非密闭式蝶阀，以及提高一种容易提高蝶阀体的装配位置的精度的非密闭式蝶阀的制造方法。

用于解决问题的方案

为了解决上述课题，本发明的非密闭式蝶阀及其制造方法具有以下那样的结构。