[发明专利]晶棒带锯机喷嘴有效
申请号: | 202110035685.3 | 申请日: | 2021-01-12 |
公开(公告)号: | CN112873585B | 公开(公告)日: | 2023-01-20 |
发明(设计)人: | 孙海峰 | 申请(专利权)人: | 上海新昇半导体科技有限公司 |
主分类号: | B28D7/02 | 分类号: | B28D7/02 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 201306 上海市浦东新区中国(上海)自由*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶棒带 锯机 喷嘴 | ||
1.一种晶棒带锯机喷嘴,其特征在于,所述喷嘴包括:
壳体,所述壳体具有容纳腔,所述壳体为面对称图形,且在具有原点O的X轴、Y轴及Z轴坐标系中,所述壳体的对称面为XOY面以及XOZ面;
进液口,所述进液口与所述容纳腔相连通;
排液口,所述排液口与所述容纳腔相连通,且所述排液口与所述进液口对应设置,所述排液口的中心线及进液口的中心线相重合以作为所述X轴;
其中,自所述进液口至所述排液口的延伸方向上,所述容纳腔包括依次相贯通的第一腔室、第二腔室及第三腔室,且所述第一腔室的高度依次减小,所述第二腔室的高度依次增大,所述第三腔室的高度依次减小;
分流板,所述分流板位于所述容纳腔内,所述分流板包括第一分流板及第二分流板,所述第一分流板及第二分流板沿所述X轴对称分布,临近所述进液口的分流板入口的宽度小于临近所述排液口的分流板出口的宽度,且所述分流板入口与所述进液口之间具有间距;
分层板,所述分层板位于所述容纳腔内,并与所述Y轴平行设置,且所述分层板位于所述分流板出口与所述排液口之间。
2.根据权利要求1所述的喷嘴,其特征在于:自所述进液口至所述排液口的延伸方向上,所述第一腔室的宽度逐渐增大。
3.根据权利要求1所述的喷嘴,其特征在于:自所述进液口至所述排液口的延伸方向上,所述分流板的宽度逐渐增大。
4.根据权利要求1所述的喷嘴,其特征在于:所述排液口与带锯具有相同的宽度;所述排液口的形貌包括长方形或正方形;自所述排液口排出的液体具有均匀的流动性。
5.根据权利要求1所述的喷嘴,其特征在于:在沿所述X轴的延伸方向上,所述分流板包括N≥2组。
6.根据权利要求1所述的喷嘴,其特征在于:在沿所述Y轴的延伸方向上,所述分流板包括M≥2组。
7.根据权利要求1所述的喷嘴,其特征在于:在所述容纳腔中,所述分流板呈树状分布。
8.根据权利要求1所述的喷嘴,其特征在于:在沿所述Z轴的延伸方向上,所述分层板包括P≥2个。
9.根据权利要求1所述的喷嘴,其特征在于:制备所述喷嘴的工艺包括模塑成型、焊接及粘接中的一种或组合;所述喷嘴的材质包括金属、有机及无机非金属中的一种或组合。
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