[发明专利]一种环形图案的光学邻近效应校正方法

权利要求书

1.一种环形图案的光学邻近效应校正方法，其特征在于，所述方法包括：

将设计版图源文件进行数字化处理，以得到数字图像；

判断所述数字图像中是否有封闭的环形图案；

若有，则获取所述环形图案的外轮廓对应的外轮廓图案以及所述环形图案的内轮廓对应的内轮廓图案，所述外轮廓图案和所述内轮廓图案均为非环形图案；

分别对所述外轮廓图案和所述内轮廓图案进行光学邻近效应校正；

将校正后的外轮廓图案和校正后的内轮廓图案写入版图文件并进行组合，以得到校正后的环形图案。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述判断所述数字图像中是否有封闭的环形图案，包括：

对所述数字图像进行连通域标号，以生成标号集合；

根据所述标号集合判断所述数字图像中是否有封闭的环形图案。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述标号集合判断所述数字图像中是否有封闭的环形图案，包括：

若所述标号集合中存在大于预设数值的标号，则确定所述数字图像中有封闭的环形图案；

若所述标号集合中不存在大于预设数值的标号，则确定所述数字图像中没有封闭的环形图案。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述环形图案的外轮廓对应的外轮廓图案，包括：

从所述数字图像中获取所述外轮廓对应的区域图像，所述区域图像包含所述内轮廓；

在所述区域图像中，利用图案像素填充所述内轮廓包围的区域，以得到外轮廓图案。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述环形图案的内轮廓对应的内轮廓图案，包括：

在所述数字图像中，利用图案像素填充所述内轮廓包围的区域，并利用背景像素填充所述内轮廓之外的区域，以得到内轮廓图案。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将校正后的外轮廓图案和校正后的内轮廓图案写入版图文件并进行组合，包括：

将校正后的外轮廓图案和校正后的内轮廓图案分别以两个图层写入版图文件；

对所述两个图层做相减布尔运算。

7.根据权利要求1至6任一项所述的方法，其特征在于，所述数字图像为二值化图像。