[发明专利]一种可控研磨温度和研磨剂浓度的晶片研磨装置

权利要求书

1.一种可控研磨温度和研磨剂浓度的晶片研磨装置，包括主箱体，其特征在于：所述主箱体内设有开口向前的研磨腔，所述研磨腔下端壁固定连接有位于所述研磨腔内的研磨台，所述研磨腔右端壁固定连接有位于所述研磨腔内的温度传感器，所述研磨腔左侧设有出液腔，所述研磨腔左端壁固定连接有位于所述研磨腔内的喷嘴，所述出液腔右端壁连通设有向右贯穿所述喷嘴的喷嘴管，所述出液腔上端壁连通设有搅拌腔，所述搅拌腔左侧设有锥齿轮腔，所述锥齿轮腔右端壁转动配合连接有向左延伸至所述锥齿轮腔内且向右延伸至所述搅拌腔内的搅拌轴，所述搅拌轴上固定连接有若干搅拌杆，所述搅拌腔上侧设有移动板腔，所述移动板腔右端壁连通设有活塞腔，所述活塞腔内滑动配合连接有活塞，所述活塞腔右侧设有出液挡板腔，所述出液挡板腔左端壁和所述活塞腔右端壁之间连通设有中间腔，所述出液挡板腔左端壁铰接有出液挡板，所述活塞腔右端壁连通设有进液挡板腔，所述进液挡板腔右端壁铰接有进液挡板，所述活塞腔上侧设有磨液腔，所述磨液腔下端壁和所述进液挡板腔右端壁之间连通设有磨液管，所述活塞腔右侧设有定量箱腔，所述定量箱腔左端壁和所述活塞腔右端壁之间连通设有连接杆腔，所述定量箱腔内滑动配合连接有定量箱，所述定量箱左端面和所述活塞右端面之间固定连接有与所述连接杆腔滑动配合连接的连接杆，所述定量箱内设有上下贯通的定量腔，所述定量箱腔上侧设有磨料腔，所述磨料腔下端壁和所述定量箱腔上端壁之间连通设有落料腔，所述落料腔下端壁和所述定量腔上端壁连通，所述出液挡板腔右端壁和所述搅拌腔右端壁之间连通设有混合腔，所述混合腔上端壁和所述定量箱腔下端壁之间连通设有下料腔，所述移动板腔后侧设有移动带轮腔，所述移动带轮腔后侧设有变速腔，所述变速腔左端壁连通设有锥摩擦轮腔，所述锥摩擦轮腔前侧设有从动摩擦轮腔，所述从动摩擦轮腔左端壁连通设有主动摩擦轮腔，所述主动摩擦轮腔后侧设有向下延伸的搅拌带轮腔。

2.根据权利要求1所述一种可控研磨温度和研磨剂浓度的晶片研磨装置，其特征在于：所述主箱体内设有位于所述搅拌带轮腔后侧的电机，所述电机前端面固定连接有向前贯穿所述搅拌带轮腔且向前延伸至所述主动摩擦轮腔内的主动轴，所述主动轴上固定连接有位于所述主动摩擦轮腔内的主动摩擦轮，所述主动轴上还固定连接有位于所述搅拌带轮腔内的第一带轮，所述搅拌带轮腔前端壁转动配合连接有向后延伸至所述搅拌带轮腔内且向前延伸至所述锥齿轮腔内的搅拌中间轴，所述搅拌中间轴上固定连接有位于所述搅拌带轮腔内的第二带轮，所述第二带轮和所述第一带轮之间动力配合连接有搅拌传送带，所述搅拌中间轴上还固定连接有位于所述锥齿轮腔内的主动锥齿轮，所述搅拌轴上固定连接有位于所述锥齿轮腔内的从动锥齿轮，所述从动锥齿轮和所述主动锥齿轮啮合。

3.根据权利要求1所述一种可控研磨温度和研磨剂浓度的晶片研磨装置，其特征在于：所述从动摩擦轮腔后端壁转动配合连接有向前延伸至所述从动摩擦轮腔内且向后延伸至所述锥摩擦轮腔内的锥摩擦轮轴，所述锥摩擦轮轴上固定连接有位于所述从动摩擦轮腔内的从动摩擦轮，所述从动摩擦轮和所述主动摩擦轮抵接，所述锥摩擦轮轴上还固定连接有位于所述锥摩擦轮腔内的锥摩擦轮，所述移动带轮腔后端壁转动配合连接有向前延伸至所述移动带轮腔内且向后延伸至所述变速腔内的变速套筒，所述变速套筒内花键配合连接有向后延伸至所述变速腔内的变速轴，所述变速轴上固定连接有与所述锥摩擦轮抵接的变速摩擦轮，所述变速轴后端面转动配合连接有变速盘，所述变速盘后端面和所述变速腔后端壁之间固定连接有弹簧，所述变速腔后端壁固定连接有向后延伸至所述主箱体内的电磁铁。

4.根据权利要求1所述一种可控研磨温度和研磨剂浓度的晶片研磨装置，其特征在于：所述移动带轮腔前端壁转动配合连接有向后延伸至所述移动带轮腔内且向前延伸至所述移动板腔内的转杆轴，所述转杆轴上固定连接有位于所述移动带轮腔内的第三带轮，所述第三带轮和所述第四带轮之间动力配合连接有移动传送带，所述转杆轴上还固定连接有位于所述移动板腔内的转杆，所述转杆前端面固定连接有位于所述转杆轴左侧的转动销，所述移动板腔内滑动配合连接有移动板，所述移动板内设有前后贯通的转动销腔，所述转动销腔和所述转动销滑动配合连接，所述移动板右端面固定连接有向右延伸至所述活塞腔内的推杆，所述推杆右端面和所述活塞左端面固定连接。

5.根据权利要求1所述一种可控研磨温度和研磨剂浓度的晶片研磨装置，其特征在于：所述定量箱腔后端壁连通设有固定齿轮腔，所述固定齿轮腔右端壁转动配合连接有向左延伸至所述固定齿轮腔内且向右延伸至外界的固定齿轮轴，所述固定齿轮轴上固定连接有位于所述固定齿轮腔内的固定齿轮，所述固定齿轮轴上还固定连接有位于外界的旋钮，所述定量腔右端壁转动配合连接有向左延伸至所述定量腔内且向右延伸至所述定量箱腔内的移动齿轮轴，所述移动齿轮轴上固定连接有位于所述定量箱腔内的移动齿轮，所述移动齿轮和所述固定齿轮啮合，所述移动齿轮轴上螺纹配合连接有与所述定量腔滑动配合连接的定量块。