[发明专利]电吸收调制激光器有效
| 申请号： | 202110030225.1 | 申请日： | 2021-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN112382923B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 刘应军;阳红涛;王任凡 | 申请（专利权）人： | 武汉敏芯半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/065 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 许美红 |
| 地址： | 430014 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸收 调制 激光器 | ||
1.一种基于行波电极的电吸收调制激光器，其特征在于，该激光器由下往上依次包括衬底层、有源层和p型欧姆接触层，该激光器一端的衬底层下方设有n电极层，p型欧姆接触层上方设有p电极层；
该激光器的另一端的端面两个对角侧设有呈中心对称的左侧行波电极和右侧行波电极，左侧行波电极包括平行于pn结方向的部分和位于衬底层下方的部分；右侧行波电极包括平行于pn结方向的部分和位于p型欧姆接触层上方的部分；
左、右侧行波电极中平行于pn结方向的部分与该激光器之间均设有绝缘层。
2.根据权利要求1所述的基于行波电极的电吸收调制激光器，其特征在于，左、右侧行波电极中平行于pn结方向的部分与有源层无重叠。
3.根据权利要求1所述的基于行波电极的电吸收调制激光器，其特征在于，绝缘层覆盖于该激光器的两个侧面，长度与右侧行波电极和左侧行波电极的长度一致。
4.根据权利要求1所述的基于行波电极的电吸收调制激光器，其特征在于，左侧行波电极平行于pn结方向的部分和右侧行波电极平行于pn结方向的部分的宽度均不超过该激光器宽度的一半。
5.根据权利要求1所述的基于行波电极的电吸收调制激光器，其特征在于，右侧行波电极和左侧行波电极分别通过上隔离层、下隔离层与p电极层、n电极层隔离。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的基于行波电极的电吸收调制激光器，其特征在于，左侧行波电极中平行于pn结方向的部分和位于衬底层下方的部分长度相等，且两个部分所在的平面垂直；
右侧行波电极中平行于pn结方向的部分和位于p型欧姆接触层上方的部分长度相等，且两个部分所在的平面垂直。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉敏芯半导体股份有限公司，未经武汉敏芯半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110030225.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
