[发明专利]一种金属与电介质复合的耐高温太阳光谱选择性吸收结构有效
申请号: | 202110029745.0 | 申请日: | 2021-01-11 |
公开(公告)号: | CN112882138B | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 邱羽;张鹏飞;李庆 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00;H01L31/054;F24S70/225 |
代理公司: | 西安众和至成知识产权代理事务所(普通合伙) 61249 | 代理人: | 张震国 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金属 电介质 复合 耐高温 太阳 光谱 选择性 吸收 结构 | ||
1.一种金属与电介质复合的耐高温太阳光谱选择性吸收结构,其特征在于,包括底层金属薄膜(1),所述底层金属薄膜(1)上形成有第一电介质薄膜(2),所述第一电介质薄膜(2)上形成有多个金属纳米四角星形棱柱(3)构成的阵列(8),每个所述金属纳米四角星形棱柱(3)的中心具有圆柱孔,所述圆柱孔内填充有电介质填料(4),每个所述金属纳米四角星形棱柱(3)的外周形成有第二电介质薄膜(5),所述金属纳米四角星形棱柱(3)、所述电介质填料(4)和所述第二电介质薄膜(5)上形成有第三电介质薄膜(6),且所述第二电介质薄膜(5)和所述第三电介质薄膜(6)均呈四角星形,所述底层金属薄膜(1)和所述金属纳米四角星形棱柱(3)的材料均为钨、钽、铪、锆或铬,所述底层金属薄膜(1)的厚度大于200nm,所述第一电介质薄膜(2)、所述电介质填料(4)、所述第二电介质薄膜(5)和所述第三电介质薄膜(6)的材料均为二氧化铪或二氧化硅,所述第一电介质薄膜(2)、所述第二电介质薄膜(5)和所述第三电介质薄膜(6)的厚度均为5nm~200nm。
2.根据权利要求1所述的一种金属与电介质复合的耐高温太阳光谱选择性吸收结构,其特征在于,所述阵列(8)呈平行四边形点阵或正六边形点阵。
3.根据权利要求2所述的一种金属与电介质复合的耐高温太阳光谱选择性吸收结构,其特征在于,所述金属纳米四角星形棱柱(3)的四角星的每个角为锐角,且所述金属纳米四角星形棱柱(3)绕其中心轴旋转90°、180°、270°或360°之后与其自身重合。
4.根据权利要求3所述的一种金属与电介质复合的耐高温太阳光谱选择性吸收结构,其特征在于,所述金属纳米四角星形棱柱(3)的四角星的外接圆的直径为100nm~1000nm。
5.根据权利要求4所述的一种金属与电介质复合的耐高温太阳光谱选择性吸收结构,其特征在于,任意两个相邻的所述金属纳米四角星形棱柱(3)的中心轴的间距大于等于所述金属纳米四角星形棱柱(3)的四角星的外接圆的直径,且小于等于3000nm。
6.根据权利要求4所述的一种金属与电介质复合的耐高温太阳光谱选择性吸收结构,其特征在于,所述圆柱孔的直径为20nm~500nm。
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