[发明专利]一种直驱式精密转台装置

权利要求书

1.一种直驱式精密转台装置，其特征在于：包括转台机体(1)、底座组件(2)、轴承座组件(3)和转盘(4)，所述转台机体(1)外端面设有冷却水循环机构，所述转台机体(1)内穿设有轴承座组件(3)，所述轴承座组件(3)包括轴承座(31)、转台轴承(32)、驱动轴(33)、第二轴承(34)和静刹车片(35)，所述轴承座(31)外周与转台机体(1)固定连接，所述轴承座(31)内开设有容置腔室，所述容置腔室内适配安装有转台轴承(32)，所述转台轴承(32)的内圈固定套设于驱动轴(33)上端，所述驱动轴(33)与所述转台机体(1)同轴可转动连接，所述驱动轴(33)上端与转盘(4)密封连接，所述驱动轴(33)下端依次套设有静刹车片(35)和第二轴承(34)，所述静刹车片(35)与所述第二轴承(34)之间留有间隙，所述驱动轴(33)底部伸出转台机体(1)与底座组件(2)连接，所述底座组件(2)包括底座本体(21)、动刹车片(22)、第三密封件(23)、进气口(24)、编码器(26)和底板(28)，所述底座本体(21)上端面外周与所述转台机体(1)适配连接，所述底座本体(21)上端面还开设有盲孔，所述盲孔底部开设有进气口(24)，所述盲孔内安装有动刹车片(22)，所述动刹车片(22)与盲孔的连接处设有第三密封件(23)，所述编码器(26)套设于所述驱动轴(33)底部的外周，所述底座本体(21)下端与底板(28)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种直驱式精密转台装置，其特征在于：所述转台机体(1)包括电机外壳(11)、外筒体(12)、力矩电机(13)、第一密封件(14)、第二密封件(15)、压缩弹簧(16)和螺钉(17)，所述电机外壳(11)中部开设有圆形腔室，所述圆形腔室内同轴嵌设有力矩电机(13)的定子，所述力矩电机(13)的定子下端面与所述电机外壳(11)通过螺钉(17)固定连接，所述电机外壳(11)上设有环形密封沟槽，所述环形密封沟槽内分别安装有第一密封件(14)和第二密封件(15)，所述外筒体(12)罩设于所述第一密封件(14)和第二密封件(15)上，所述电机外壳(11)下端面沿周向嵌设有压缩弹簧(16)。

3.根据权利要求1所述的一种直驱式精密转台装置，其特征在于：所述底座本体(21)上设有底座出水口(25)，所述底座出水口(25)与过水孔(211)连通。

4.根据权利要求1所述的一种直驱式精密转台装置，其特征在于：所述冷却水循环机构包括螺旋形沟槽、转台进水口(111)和转台出水口(112)，所述螺旋形沟槽上端与转台进水口(111)连通，所述转台出水口(112)通过管路、接头同外部循环水系统相连接，所述螺旋形沟槽下端与转台出水口(112)连通，所述转台出水口(112)一端与过水孔(211)密封连接。

5.根据权利要求2所述的一种直驱式精密转台装置，其特征在于：所述外筒体(12)下端设有环形台面，所述电机外壳(11)外周设有环形台阶，所述环形台面抵设于所述环形台阶上。

6.根据权利要求1所述的一种直驱式精密转台装置，其特征在于：所述驱动轴(33)中心设有第一通孔，所述转盘(4)中心设有第二通孔，所述第一通孔与第二通孔适配，且连接处安装有第四密封件(36)。

7.根据权利要求1所述的一种直驱式精密转台装置，其特征在于：所述底座组件(2)还包括旋转接头(29)，所述驱动轴(33)下端中心通过旋转接头(29)与外部真空发生装置连接。

8.根据权利要求1所述的一种直驱式精密转台装置，其特征在于：所述转盘(4)上端面设有T形槽。

9.根据权利要求1或8所述的一种直驱式精密转台装置，其特征在于：所述转盘(4)下端面开设有环形槽，轴承座(31)上端面开设有与之对应的环形槽。