[发明专利]一种真空阀门

说明书

本发明公开了一种真空阀门，涉及半导体生产技术领域。该真空阀门用于控制两个腔室之间的开闭，包括壳体、门板、弹性连接件、传动件及驱动件。所述壳体相对的两个侧面对应设置有开口，两个所述开口分别连接两个所述腔室之中的一个；所述门板滑动设置于所述壳体内，用于打开或关闭所述开口；所述弹性连接件弹性连接两块所述门板；所述传动件一端伸入所述壳体，所述传动件能够改变所述弹性连接件沿所述第二方向的弹性伸缩量，从而控制所述门板贴紧或远离所述开口的边缘。该真空阀门不需要设置经常维护的机械连杆机构，提高了阀门使用寿命，且能满足所需密封精度，还进一步减小了设备体积，且对零件的加工精度不敏感。

技术领域

本发明涉及真空装置技术领域，尤其涉及一种真空阀门。

背景技术

在半导体和液晶显示领域中，许多处理工艺(例如干刻蚀工艺、灰化工艺、薄膜沉积工艺等)都需要在高洁净度、高真空度下进行，因此相应制造需采用真空设备装置。现有的真空设备一般包括用以执行不同工序的多个腔室,在生产过程中，不同工序的腔室之间需要保持相对的独立性，以保证各工序的生产环境达到标准。

真空阀门主要用于真空设备中腔室与腔室之间的连接。具体地,通过操控真空阀门的开、关状态可以实现两个真空腔室之间的连通和隔离，在阀门处于关闭状态时，两个腔室的气压不会相互影响，保证了各个腔室之间的相互隔离可独立运行；在阀门处于打开状态时，此时腔室之间相互连通，可进行制品传递等工作。阀门是半导体设备各腔室连接必不可少的密封设备，即保证了制品在不同腔室中操作的便利性，又保证了各真空腔室的真空度和相对独立的控制需求。现有的真空阀门，连杆之间的尺寸精度严重密制约阀门的密封效果，因而对零件的加工要求较高，且零件组装及更换保养复杂。

针对上述问题，需要开发一种真空阀门，以解决维护更换复杂且对零件的加工精度要求较高导致成本升高的问题。

发明内容

本发明的目的在于提出一种真空阀门，不需要设置经常维护的机械连杆机构，提高了阀门使用寿命，且能满足所需密封精度，还进一步减小了设备体积，同时避免了连杆之间的摩擦导致的颗粒，提高了腔室中的洁净度。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种真空阀门，用于控制两个腔室之间的开闭，包括：

具有空腔的壳体，所述壳体相对的两个侧面对应设置有开口，两个所述开口分别连接两个所述腔室之中的一个；

两块门板，所述门板设置于所述壳体的空腔内，所述门板与所述开口一一对应，每个所述门板用于打开或关闭相应的所述开口，至少一块所述门板上设置密封圈安装槽，且所述密封圈安装槽配置于所述门板朝向所述开口的侧面上；

弹性连接件，所述弹性连接件位于所述两块门板中间，并与两块所述门板固定连接，所述弹性连接件可以沿第二方向弹性伸缩；

传动件，所述传动件与所述弹性连接件紧密贴合，所述传动件可以支撑所述弹性连接件，还可以沿第一方向或第一方向的反方向相对于所述弹性连接件做相对运动，同时改变所述弹性连接件沿所述第二方向的弹性伸缩量，从而控制所述门板贴紧或远离所述开口的边缘，所述第一方向垂直于所述第二方向；

驱动件，所述驱动件的输出轴与所述传动件固定连接，并相互配合以控制所述门板打开或关闭相应的所述开口，其中，所述驱动件的输出轴可以沿第一方向或第一方向的反方向移动，从而带动所述传动件和所述门板一同沿所述第一方向或第一方向的反方向运动。

优选地，所述弹性连接件包括若干相互分离的弹性片，其中一部分所述弹性片构成第一弹性片组，另一部分所述弹性片构成第二弹性片组，所述第一弹性片组用于连接其中一块所述门板，所述第二弹性片组用于连接另一块所述门板；

所述第一弹性片组和所述第二弹性片组沿第二方向伸缩并分别夹持在所述传动件相对的两侧；