[发明专利]用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构

权利要求书

1.用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构，安装于反应室的观察窗处，其特征在于，包括：

门板，安装于观察窗处以密封所述观察窗，所述门板具有外侧和内侧，所述内侧朝向所述反应室；

驱动机构，包括外轮和内轮，所述外轮和内轮分别相对设置在所述门板的外侧和内侧，所述外轮和内轮上均设置有磁性部件，使得所述外轮和内轮之间磁力耦合，所述外轮通过驱动电机驱动，进而带动所述内轮转动；

安装架，设置于所述反应室内，所述安装架具有用于装载工件的工件轴；

传动机构，连接在所述内轮与工件轴之间，所述内轮通过所述传动机构带动所述工件轴转动，进而带动所述工件转动，所述传动机构包括蜗轮蜗杆机构和链传动机构，所述蜗轮蜗杆机构包括蜗轮和蜗杆轴，所述链传动机构包括第一传动轮、第二传动轮以及连接在第一传动轮和第二传动轮之间的传动链，所述第一传动轮的直径小于所述第二传动轮的直径，所述蜗杆轴一端与所述内轮同轴固定连接，所述蜗轮啮合在所述蜗杆轴的另一端，所述蜗轮与所述第一传动轮设置为同轴转动，所述第二传动轮与所述工件轴同轴固定连接。

2.根据权利要求1所述的用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构，其特征在于：所述链传动机构还包括用于张紧所述传动链的张紧装置。

3.根据权利要求1所述的用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构，其特征在于：所述门板由陶瓷或玻璃制成。

4.根据权利要求1所述的用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构，其特征在于：所述安装架还包括分别安装在所述工件轴两端的第一支架和第二支架，所述第一支架和所述第二支架的上端部设置有U形槽。

5.根据权利要求4所述的用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构，其特征在于：所述安装架通过内底板安装于所述门板上，所述内底板设置成L型。

6.根据权利要求1所述的用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构，其特征在于：所述驱动机构还包括驱动电机，所述驱动电机驱动所述外轮转动，所述驱动机构通过外底板安装于所述门板上，所述外底板设置成L型。