[发明专利]一种晶圆片承载装置

权利要求书

1.一种晶圆片承载装置，其特征在于，具有：用于承载晶圆片的箱体、用于可抓取配合的基座、用于与检测机配合的安装座、以及与所述箱体配合的盖体；其中，所述基座和所述安装座分设于所示箱体外侧并对位设置；且所述基座和所述安装座均与所述晶圆片并行放置。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片承载装置，其特征在于，所述箱体设有若干列用于插放所述晶圆片的体槽组；所述盖体靠近所述箱体一侧设有与所述体槽组相对应的盖槽组；所述晶圆片被置于所述体槽组和所述盖槽组形成的间隙卡槽内。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片承载装置，其特征在于，所述盖体内嵌于所述箱体中盖合，且所述盖槽组沿所述盖体长度并位于其长度中间设置；所述盖槽组包括若干个间隙设置的卡条；在每个卡条上均设有若干间隔设置的Z型槽。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆片承载装置，其特征在于，所述Z型槽沿所述卡条的长度方向同向和/或反向设置；相邻所述卡条中的所述Z型槽并排设置或交错设置。

5.根据权利要求3或4所述的一种晶圆片承载装置，其特征在于，在所述盖体远离所述箱体一侧设有两个用于操作所述盖体的凹槽柄，所述凹槽柄相对于所述盖槽组对称设置。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆片承载装置，其特征在于，在所述箱体的侧面还设有对称设置的把手，所述把手置于与所述基座相邻的两个侧面。

7.根据权利要求1-4、6任一项所述的一种晶圆片承载装置，其特征在于，所述基座与所述箱体可拆卸连接设置，且所述基座和所述安装座远离所述箱体一侧均为平整平面。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆片承载装置，其特征在于，所述基座为方型结构，包括若干用于卡装的插孔，所述插孔沿所述基座水平设置和/或竖直设置。

9.根据权利要求1-4、6、8任一项所述的一种晶圆片承载装置，其特征在于，所述安装座包括若干与检测机相适配的卡接孔和与所述箱体配合的连接孔；连接所述卡接孔围成的图形为三角形；所述连接孔被置于靠近所述箱体上端面一侧设置且与其中两个所述卡接孔相邻设置。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆片承载装置，其特征在于，在所述安装座上还设有若干用于与检测机上的探测针接触的通孔圆和沿其外边且开口朝外设置的外沿槽。