[发明专利]磁吸式探针卡装置

权利要求书

1.一种磁吸式探针卡装置，其特征在于，包括：

一探针卡，包括一基板及复数探针，该复数探针设置在该基板上，且向下延伸至该基板下表面，每一该探针上镀有一磁性层；以及

一测试座，对应该探针卡设置，该测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，该电磁铁设置于该晶圆测试平台下方，该电磁铁产生的磁力能够吸附该复数探针至该晶圆测试平台。

2.如权利要求1所述的磁吸式探针卡装置，其特征在于：该磁性层为镍层、钴层或铑层。

3.如权利要求1所述的磁吸式探针卡装置，其特征在于：每一该探针包括一连接部以及一测试部，且该测试部垂直连接于该连接部，该磁性层铺设于该连接部上且对应设置有该测试部的位置。

4.如权利要求1所述的磁吸式探针卡装置，其特征在于：还包括一控制器，其连接该探针卡以及该测试座，该控制器控制该测试座的该电磁铁以产生磁力，令该晶圆测试平台能够吸附该探针卡的该复数探针，该控制器能够控制该探针卡接收及传递测试信号。

5.如权利要求1所述的磁吸式探针卡装置，其特征在于：该探针卡的该基板上设有一测试开口，该复数探针以环设或阵列的方式设置在该测试开口内。

6.如权利要求4所述的磁吸式探针卡装置，其特征在于：该探针卡的该基板上设有复数导线，该复数导线分别连接该复数探针以及该控制器。

7.如权利要求1所述的磁吸式探针卡装置，其特征在于：还包括一机台，该探针卡及该测试座设置于该机台上，且该机台上设有一移动装置，该移动装置连接该测试座，以控制该测试座移动。