[发明专利]一种多层执行器阵列驱动的变形镜

权利要求书

1.一种多层执行器阵列驱动的变形镜，其特征在于：包括镜面、多个位于不同层平面内的执行器阵列、以及连接执行器阵列与镜面的多个连接柱，所述的每层平面内的执行器阵列包括多个固定于带通孔的基座上的单压电片执行器，每个单压电片执行器通过连接柱与镜面连接，位于下层面内的执行器阵列的连接柱穿过上层面内执行器阵列的基座与镜面相连，不同层面内执行器阵列中的单压电片执行器在空间上相互错位，每个所述单压电片执行器包括弹性层和与弹性层相连的两面带电极层的压电片，除最底层的单压电片执行器阵列的基座外，其它层的单压电片执行器阵列的基座设有用于连接柱穿过的小通孔,小通孔直径略大于连接柱直径，小通孔与用于固定单压电片执行器的通孔不干涉，所述镜面由多个位于不同层平面内的单压电片执行器通过连接柱推动实现变形。

2.根据权利要求1所述一种多层执行器阵列驱动的变形镜，其特征在于：每层面内的单压电片执行器的排列方式是方形排列或三角形排列。

3.根据权利要求2所述一种多层执行器阵列驱动的变形镜，其特征在于：所述镜面表面镀有高反射膜。

4.根据权利要求1、2或3所述一种多层执行器阵列驱动的变形镜，其特征在于：压电片设置在弹性层的上方，或者压电片设置在弹性层的下方。

5.根据权利要求4所述一种多层执行器阵列驱动的变形镜，其特征在于：连接柱位于单压电片执行器的中心处。

6.根据权利要求5所述一种多层执行器阵列驱动的变形镜，其特征在于：单压电片执行器为圆形结构，压电片的直径略小于弹性层的直径。

7.根据权利要求5或6所述一种多层执行器阵列驱动的变形镜，其特征在于：单压电片执行器与所在基座的通孔同心，通过弹性层固定于基座上，弹性层的直径略大于通孔的直径。

8.根据权利要求7所述一种多层执行器阵列驱动的变形镜，其特征在于：执行器为压电片和铜片复合结构，铜片既作电极层也作弹性层，且铜片直径略大于压电片直径。

9.根据权利要求2、3或8所述一种多层执行器阵列驱动的变形镜，其特征在于：每层面内的单压电片执行器的中心位于其它层面内执行器阵列中相邻单压电片执行器的边长中心或几何中心。