[发明专利]一种钽靶材及其溅射面的处理方法在审
| 申请号： | 202110002846.9 | 申请日： | 2021-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN112828541A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钽靶材 及其 溅射 处理 方法 | ||
1.一种钽靶材溅射面的处理方法，其特征在于，所述处理方法包括先后进行的车削与抛光；
所述车削包括先后进行的粗车削与精车削；
所述精车削包括8-12刀车削。
2.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述车削为采用刀片沿钽靶材的直径方向从边缘向中心进刀。
3.根据权利要求2所述的处理方法，其特征在于，所述刀片的进刀速度为0.1-0.3mm/min。
4.根据权利要求1-3任一项所述的处理方法，其特征在于，所述车削的线速度为250-300m/min。
5.根据权利要求1-4任一项所述的处理方法，其特征在于，所述粗车削的吃刀量为0.13-0.17mm；
优选地，所述粗车削的过程中吃刀量保持恒定。
6.根据权利要求1-5任一项所述的处理方法，其特征在于，所述精车削的吃刀量为0.03-0.07mm；
优选地，所述精车削的过程中吃刀量保持恒定。
7.根据权利要求1-6任一项所述的处理方法，其特征在于，所述精车削的留余量为0.3-0.6mm。
8.根据权利要求1-7任一项所述的处理方法，其特征在于，所述抛光为先采用砂纸，再采用百洁布对钽靶材的车削面进行抛光处理；
优选地，所述砂纸为320#砂纸；
优选地，所述百洁布为800#百洁布。
9.根据权利要求1-8任一项所述的处理方法，其特征在于，所述处理方法包括先后进行的车削与抛光；
所述车削为采用刀片沿钽靶材的直径方向从边缘向中心进刀，且进刀速度为0.1-0.3mm/min，车削的线速度为250-300m/min；
所述车削包括先后进行的吃刀量为0.13-0.17mm的粗车削与吃刀量为0.03-0.07mm的精车削，且粗车削与精车削的过程中吃刀量保持恒定；所述精车削包括8-12刀车削，且精车削的留余量为0.3-0.6mm；
所述抛光为先采用320#砂纸，再采用800#百洁布对钽靶材的车削面进行抛光处理。
10.一种如权利要求1-9任一项所述的处理方法处理得到的钽靶材，其特征在于，所述钽靶材的溅射面粗糙度Ra≤0.4μm。
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