[发明专利]包括具有不同谐振频率的谐振器的BAW谐振器布置及制造方法

说明书

在至少一个实施例中，电气部件包括：第一BAW谐振器(1)；第二BAW谐振器(2)，所述第二BAW谐振器电连接到所述第一BAW谐振器；以及载体基板(3)，所述载体基板具有其上布置有所述BAW谐振器的顶侧(30)。所述第一和第二BAW谐振器各自包括底部电极(11、21)和顶部电极(12、22)。所述底部电极在每种情况下位于所述载体基板和所述相应顶部电极之间。第一压电层(13)布置在所述第一BAW谐振器的所述顶部电极和所述底部电极之间并且从所述第一BAW谐振器横向突出。所述第二BAW谐振器在横向邻近所述第一BAW谐振器的区域中安装在所述第一压电层上，并且包括在其顶部电极和其底部电极之间的第二压电层(23)。所述两个压电层可具有不同的厚度以在相同管芯上实现具有不同谐振频率的谐振器。

技术领域

电气部件和用于制造电气部件的方法。本发明指定了电气部件。此外，本发明指定了用于制造电气部件的方法。

发明内容

本发明的一个方面涉及提供具有高效率的电气部件的任务。要解决的另一任务是提供用于容易且廉价地制造这种电气部件的方法。

根据至少一个实施例，电气部件包括第一BAW谐振器和第二BAW谐振器(BAW＝bulkacoustic wave，体声波)。第二BAW谐振器电连接到第一BAW谐振器。电连接的BAW谐振器是其中一个谐振器的一个电极和另一个谐振器的一个电极彼此电连接的谐振器。第一BAW谐振器和第二BAW谐振器可并联或反并联连接。

“并联连接”是指两个BAW谐振器的底部电极彼此电连接并且在操作期间处于相同电势。此外，两个BAW谐振器的顶部电极彼此电连接并且在操作期间处于相同电势。

“反并联连接”是指一个BAW谐振器的底部电极电连接到另一个BAW谐振器的顶部电极，使得这两个电极在操作期间处于相同电势。此外，一个BAW谐振器的顶部电极电连接到另一个BAW谐振器的底部电极，使得这两个电极在操作期间处于相同电势。

根据至少一个实施例，电气部件包括载体基板，该载体基板具有其上布置有BAW谐振器的顶侧。载体基板机械承载BAW谐振器。载体基板是机械自支撑的。载体基板的横向于顶侧延伸的横向表面可包括化学或物理材料移除的痕迹，例如锯切凹槽。

根据至少一个实施例，第一BAW谐振器和第二BAW谐振器各自包括底部电极和顶部电极。顶部电极和底部电极旨在用于在它们之间施加交流电压，例如具有RF频率。顶部电极和底部电极分别电连接到电气部件的另一电气元件，例如电连接到另一谐振器或端子。

在电气部件的操作期间，例如具有RF频率的交流电压被施加在相应BAW谐振器的顶部电极和底部电极之间。因此，在顶部电极和底部电极之间产生交变电场。压电材料布置在顶部电极和底部电极之间并且由于该交变电场而机械变形。因此，体声波产生并在压电材料中传播。填充有压电材料的顶部电极和底部电极之间的区域是BAW谐振器的活动区域。

电极包括导电材料。电极可包括金属。例如，电极可各自包括以下中的一者或多者：Al、Cu、Ti、Cr、Au、Pt、Ru或Mo。为了说明的目的，每个电极可各自具有垂直于载体基板的顶侧测量的在50nm和300nm之间(包含端点)的平均厚度。

在这里和在下文中，术语“顶部”和“底部”以及“顶侧”和“底侧”或类似术语绝不能被理解为限于与重力方向反平行和平行的方向。相反，它们通常用于例如识别相对的区域或物体或方向。

根据至少一个实施例，底部电极在每种情况下位于载体基板和其相应顶部电极之间。在平面图中，在载体基板的顶侧上，每个BAW谐振器的顶部电极和底部电极彼此重叠。

根据至少一个实施例，第一压电层布置在第一BAW谐振器的顶部电极和底部电极之间。第一压电层从第一BAW谐振器横向延伸或突出。

第一压电层可以一件式形成，即一体形成。例如，第一BAW谐振器的顶部电极和底部电极与第一压电层直接机械接触。特别地，第一压电层完全填充第一BAW谐振器的顶部电极和底部电极之间的间隙。