[发明专利]差压传感器和包含此类传感器的检测装置

说明书

本发明涉及一种用于泄漏检测装置的差压传感器，其包含：‑至少两个主体，在所述至少两个主体中形成空腔；‑隔膜，其布置在所述两个主体之间且分离所述空腔以便限定在所述主体中的每一个中的测试腔室；‑至少一个电极，其布置在所述测试腔室中的每一个中且面向所述隔膜以便与其形成电容器；其特征在于，所述传感器包含布置在所述主体中的每一个与所述隔膜之间的至少两个密封件。

技术领域

本发明涉及用于检测泄漏或测量紧密性的装置的领域。更确切地说，本发明涉及一种意图安装在此类装置中的差压传感器。

背景技术

实际上，在许多行业中，有必要能够检查制造的零件、封装、产品……是否具有泄漏(或以其它方式被配制成检查零件为紧密的)且能够量化所述泄漏。

存在用于检测和量化泄漏的不同方法，例如示踪气体方法、游泳池(或水罐)方法或压力变化方法。

然而，如果泄漏与大于0.1Pa/s的压差相关，那么压力变化方法为最快且最经济的方法。实际上，不同于示踪气体方法，不必使气瓶进行紧密性测量。另外，不同于水池方法，压力变化方法为快速的且可在工业过程中(例如，在生产线上)实施。

因此，在压力变化方法中，待测试的物件经历受控压力变化，且在所确定的时间(稳定阶段)之后，例如在含有物件的腔室中再次测量压力，如果物件具有泄漏那么所述压力将会变化。

因此，具有能够测量小压力变化且因此间接测量小泄漏的压力传感器是至关重要的。

发明内容

因此，本发明为一种用于泄漏检测装置的新类型的差压传感器，其包含：

-紧固到彼此的至少两个主体，在所述至少两个主体中形成空腔；

-隔膜，其布置在两个主体之间且分离所述空腔以便限定在所述主体中的每一个中的测试腔室；

-至少一个电极，其布置在测试腔室中的每一个中且面向所述隔膜以便与其形成电容器；

其特征在于所述传感器包含布置在所述主体中的每一个与隔膜之间的至少两个密封件。

所述密封件允许从外部确保测试腔室的紧密性。另外，密封件优选地同心地布置，允许使测试腔室的体积的任何变化最小化。

根据一个可能特征，主体中的每一个包含在所述密封件之间开口的至少一个流体管道。

在所述密封件之间开口的所述流体管道确切地说允许改变密封件之间存在的压力且使其与邻接测试腔室(也就是说其密封件确保紧密性的测试腔室)中存在的压力平衡。因此，直接界定测试腔室的内部密封件不经历压力变化(且因此不移动)。

根据另一可能特征，主体和/或隔膜中的至少一个包含容纳所述密封件的凹槽。

有利的是提供收容所述密封件的形状(例如，凹槽或任何其它适合的形状)，确切地说，在所述传感器的制造期间促进密封件的定位，并且还限制所述密封件的径向移动且优化由后者提供的密封。

根据另一可能特征，密封件对中的每一个布置在隔膜的两侧上。

根据另一可能特征，密封件对中的每一个与隔膜和传感器的至少一个主体接触。

根据另一可能特征，所述主体中的至少一个包含用于拉紧所述隔膜的部件。

所述拉紧部件呈例如突起或垫圈的形状，其支承在隔膜上以优选地以均匀方式拉紧所述隔膜。

根据另一可能特征，隔膜和所述主体由具有基本上相等的热膨胀系数的材料制成。所述材料为例如青铜、青铜铍合金和/或不锈钢等。

根据另一可能特征，电极中的至少一个在一方面具有两个相对端面，一个面向隔膜且另一个紧固到主体中的一个，和另一方面具有连接所述端面的横向面。