[发明专利]激光器装置

权利要求书

1.一种激光器装置，对被照射物照射激光，

所述激光器装置具备：

激光器光源，其出射激光；

参照光源，其出射参照光；

折回镜，其具有通过将从所述激光器光源出射的激光向与行进方向不同的方向反射来将所述激光向所述被照射物引导的第1反射面、和将从所述参照光源出射的参照光向与行进方向不同的方向反射的第2反射面，并能进行摇动以使得所述第1反射面相对于入射到所述第1反射面的激光的光路的倾斜角变化，若所述第1反射面相对于入射到所述第1反射面的激光的光路的倾斜角变化，则所述第2反射面相对于入射到所述第2反射面的参照光的光路的倾斜角变化；

参照受光器，其接收由所述折回镜的第2反射面反射的参照光；

聚光透镜，其配置于从所述折回镜的第1反射面朝向所述被照射物的激光的光路，并将所述激光聚光；和

控制部，其进行校准处理，

所述控制部在所述校准处理中，依次变更所述折回镜的第1反射面相对于入射到所述折回镜的第1反射面的激光的光路的倾斜角，并观测入射到所述被照射物的激光的状态和所述参照受光器的输出，基于观测结果来更新表示入射到所述被照射物的激光的目标状态与所述参照受光器的目标输出的对应关系的对应关系信息。

2.根据权利要求1所述的激光器装置，其中，

所述控制部在使入射到所述被照射物的激光的状态成为所述对应关系信息所示的目标状态的情况下，调节所述折回镜的第1反射面相对于入射到所述折回镜的第1反射面的激光的光路的倾斜角，以使得所述参照受光器的输出接近于所述对应关系信息中与所述目标状态对应的所述参照受光器的目标输出。

3.根据权利要求1或2所述的激光器装置，其中，

所述激光器装置具备：

部分反射镜，其反射从所述聚光透镜朝向所述被照射物的一部分激光；和

部分受光器，其接收由所述部分反射镜反射的一部分激光，

所述控制部基于所述部分受光器的输出来观测入射到所述被照射物的激光的状态。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的激光器装置，其中，

所述控制部在所述校准处理中，在不能更新所述对应关系信息的情况下，输出用于通知不能更新所述对应关系信息的信息。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的激光器装置，其中，

所述控制部在所述参照受光器的输出为所述对应关系信息所示的所述参照受光器的目标输出时的所述被照射物中的所述激光的光斑的位置为异常的情况下，进行所述校准处理。