[发明专利]气体放电光源中的氟检测

权利要求书

1.一种方法，包括：

至少接收来自气体放电室的混合气体的部分，其中所述混合气体包含氟；

使所述混合气体的部分中的所述氟与氢氧化物反应以形成包含氧和水的新的气体混合物；

感测所述新的气体混合物内的水浓度；以及

基于所感测的所述水浓度来估计所述混合气体的部分内的氟浓度。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述氢氧化物包括碱土金属氢氧化物。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述氢氧化物不含碱金属和碳。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述混合气体是至少包括增益介质和缓冲气体的混合物的准分子激光气体。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括：

基于所述混合气体的部分中的所估计的所述氟浓度，调整来自一组气体供应源的气体混合物中的氟的相对浓度；以及

通过将经调整的所述气体混合物从所述气体供应源添加到所述气体放电室来执行气体更新。

6.根据权利要求5所述的方法，其中执行所述气体更新包括：利用增益介质和缓冲气体以及氟的混合物来填充所述气体放电室。

7.根据权利要求6所述的方法，其中利用所述增益介质和所述缓冲气体的所述混合物填充所述气体放电室包括：利用包含稀有气体和卤素的增益介质以及包含惰性气体的缓冲气体来填充所述气体放电室。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述稀有气体包括氩气、氪气或氙气；所述卤素包括氟；以及所述惰性气体包括氦气或氖气。

9.根据权利要求6所述的方法，其中用所述增益介质和所述缓冲气体以及氟的所述混合物填充所述气体放电室包括：

将所述增益介质和所述缓冲气体以及氟的所述混合物添加到所述气体放电室中的现有混合气体中；或

至少利用所述增益介质和所述缓冲气体以及氟的所述混合物来替换所述气体放电室中现有的混合气体。

10.根据权利要求5所述的方法，其中执行所述气体更新包括执行以下中的一项或多项：气体再填充方案或气体注入方案。

11.根据权利要求1所述的方法，其中至少接收来自所述气体放电室的所述混合气体的部分包括：在对所述气体放电室执行气体更新之前接收所述混合气体的部分，其中所述气体更新包括：将来自一组气体供应源的气体混合物添加到所述气体放电室，其中所述气体混合物包含至少一些氟。

12.根据权利要求11所述的方法，其中执行所述气体更新包括：执行以下中的一项或多项：气体再填充方案或气体注入方案。

13.根据权利要求1所述的方法，其中至少接收来自所述气体放电室的所述混合气体的所述部分包括：将所述混合气体从所述气体放电室排出并将所排出的所述混合气体引导至容纳所述氢氧化物的反应容器。

14.根据权利要求13所述的方法，还包括将所述新的气体混合物从所述反应容器传输到测量容器，其中感测所述新的气体混合物内的所述水浓度包括：感测所述测量容器内的所述新的气体混合物内的所述水浓度。

15.根据权利要求13所述的方法，其中感测所述新的气体混合物内的所述水浓度包括：使所述测量容器内的传感器暴露于所述新的气体混合物。

16.根据权利要求1所述的方法，还包括在所述混合气体的部分内的所述氟浓度被估计之后，将所述新的气体混合物从所述测量容器中排出。