[发明专利]调制装置、控制装置、光学系统、光刻系统和方法

权利要求书

1.一种基于N位宽输入信号(I)生成1位宽调制信号(PWM)的调制装置(100)，包括：

信号分离器(110)，用于生成包括所述输入信号(I)的M个较高有效位的M位宽第一部分信号(Xh)，以及用于生成包括所述输入信号的L个较低有效位的L位宽第二部分信号(X1)，其中L＝N–M，

第一调制单元(120)，用于基于所述第二部分信号(X1)生成1位宽脉冲密度调制信号(PDM)，

求和单元(130)，用于基于所述第一部分信号(Xh)和所述脉冲密度调制信号(PDM)生成M位宽求和信号(Xs)，并且

包括第二调制单元(140)，用于基于所述求和信号(Xs)生成1位宽调制信号(PWM)。

2.根据权利要求1所述的调制装置，其特征在于，

时钟发生器，用于生成内部时钟频率f1，其中所述第二调制单元(140)被配置为生成具有缩短周期P*＝2^M·t1的调制信号(PWM)，其中t1＝1/f1。

3.根据权利要求1或2所述的调制装置，其特征在于，所述信号分离器(110)被配置为基于预定比率K＝L/M，特别是K≤1，优选地K≤0.5，生成所述第一部分信号(Xh)和所述第二部分信号(Xl)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的调制装置，其特征在于，所述输入信号(I)的宽度N为4-64位，优选地6-32位，更优选地8-16位。

5.一种基于输入信号(I)驱动致动器(300)的驱动装置(200)，包括：

如权利要求1至4中任一项所述的调制装置(100)，用于基于所述输入信号(I)生成调制信号(PWM)，

放大器单元(220)，用于基于所述调制信号(PWM)生成经放大信号(aPWM)，以及

滤波器单元(230)，用于对所述经放大信号(aPWM)进行滤波，并用于输出所述经滤波信号(fPWM)以驱动所述致动器(300)。

6.根据权利要求5所述的驱动装置，其特征在于，

第一单元(210)，用于基于驱动信号(A)生成所述N位宽输入信号(I)，其中所述第一单元(210)优选地被配置为基于所述放大器单元(220)的电压供应的高压反馈(HV)和/或所述经滤波信号的驱动电压反馈(AV)，生成所述输入信号(I)。

7.根据权利要求6所述的驱动装置，其特征在于，

所述第一单元(210)的时钟频率大于或等于所述调制信号(PWM)的第一时钟频率f1。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

所述放大器单元(220)包括开关放大器，特别是半H桥。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的驱动装置，其特征在于，

所述滤波器单元(230)至少包括电感器(231)、电阻器(232)和/或电容(233)。

10.一种光学系统(400)，包括多个可致动光学元件(410)，其中所述多个可致动光学元件(410)中的每一个分配致动器(300)，并且每个致动器(300)分配用于驱动如权利要求5-9中任一项所述的致动器(300)的驱动装置(200)。

11.根据权利要求10所述的光学系统(400)，其特征在于，

所述光学系统包括多个可致动光学元件(410)，其中至少两个驱动装置(200)、优选地每一对驱动装置(200)的放大器单元(220)的相应开关时间不同。

12.根据权利要求10或11所述的光学系统，其特征在于，

所述致动器(300)中的相应一个包括电容性和/或电感性负载。

13.一种光刻设备(600A、600B)，包括如权利要求10-12中任一项所述的光学系统(400)。