[发明专利]线状槽形成方法及取向性电磁钢板的制造方法

权利要求书

1.一种线状槽形成方法，具有：

抗蚀护膜形成工序，在钢板表面形成抗蚀护膜；

激光照射工序，在所述钢板的轧制方向上周期性地进行激光扫描，该激光扫描通过一边在与所述钢板的轧制方向交叉的方向上进行扫描一边照射激光来除去被照射了所述激光的部分的抗蚀护膜；及

蚀刻工序，对被除去了所述抗蚀护膜的部分的钢板进行蚀刻而形成线状槽，

在所述激光照射工序中，

利用从在所述钢板的板宽方向上排列设置的两台以上的激光照射装置分别照射的两条以上的激光，在板宽方向上连续地除去抗蚀护膜，并且，在将所述激光的光斑直径设为Φ时，使从在板宽方向上相邻的两台激光照射装置分别照射的两条激光的激光中心在与激光的扫描方向正交的方向上以0.05Φ以上且0.95Φ以下的范围错开地进行照射。

2.根据权利要求1所述的线状槽形成方法，其中，

将被所述两条激光照射的部分的重叠部在激光扫描方向上的长度设为50mm以下。

3.根据权利要求1或2所述的线状槽形成方法，其中，

所述激光的光斑直径Φ为1μm以上且100μm以下，并且，所述激光的照射能量为1J/m以上且30J/m以下。

4.一种取向性电磁钢板的制造方法，其中，

通过权利要求1至3中任一项所述的线状槽形成方法，在取向性电磁钢板的表面形成线状槽。