[发明专利]用于控制光束的光学部件安装座和相关系统

权利要求书

1.一种光学部件安装座(1，100，200，300)，包括固定部分(10，110，210，310)和可移动部分(20，120，220，320)，所述安装座(1，100，200，300)构造成支承至少一个光学部件，所述固定部分(10，110，210，310)和所述可移动部分(20，120，220，320)通过柔性的铰接部(15，115，215，311，312，313，314)彼此机械地连接，所述铰接部适于允许所述可移动部分(20，120，220，320)相对于所述固定部分(10，110，210，310)移动，其特征在于，所述安装座(1，100，200，300)包括冷却回路(180，280，380)，所述冷却回路集成在所述固定部分(10，110，210，310)、所述可移动部分(20，120，220，320)和所述铰接部(15，115，215，311，312，313，314)中，并且适于允许流体在所述安装座(1，100，200，300)内流动，

所述冷却回路(180，280，380)包括流体入口孔(32，132，232，332)和流体出口孔(34，134，234，334)，所述流体入口孔(32，132，232，332)和所述流体出口孔(34，134，234，334)设置在所述固定部分(10，110，210，310)上。

2.根据权利要求1所述的光学部件安装座(1，100，200，300)，其中，所述固定部分(10，110，210，310)、所述可移动部分(20，120，220，320)和所述铰接部(15，115，215，311，312，313，314)一体地制成。

3.根据权利要求1或2所述的光学部件安装座(1，100，200)，其中，所述铰接部(15，115，215)允许所述可移动部分(20，120，220)相对于所述固定部分(10，110，210)绕旋转轴线(L，L₁，L₃)的旋转运动，或者所述可移动部分(320)相对于所述固定部分(310)沿着平移轴线(L₅)的平移运动。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学部件安装座(1，300)，其中，所述可移动部分(20，320)包括光学部件支承部分。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的光学部件安装座(100，200)，包括通过另一铰接部(125，225)机械地连接到所述可移动部分(120，220)的另一可移动部分(130，230)，所述另一铰接部(125，225)构造成允许所述另一可移动部分(130，230)相对于所述可移动部分(120，220)的另一运动，所述冷却回路(180，280)集成在所述另一可移动部分(130，230)和所述另一铰接部(125，225)中。

6.根据权利要求5所述的光学部件安装座(100，200)，其中，所述另一铰接部(125，225)允许所述另一可移动部分(130，230)绕另一旋转轴线(L₂，L₄)的另一旋转运动，或者所述另一可移动部分(130，230)相对于所述可移动部分(120，220)沿着另一平移轴线的另一平移运动。

7.根据从属于权利要求3的权利要求6所述的光学部件安装座(100，200)，其中，所述另一旋转轴线(L₂，L₄)正交于所述旋转轴线(L₁，L₃)。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的光学部件安装座(100，200)，其中，所述另一可移动部分(130，230)包括另一光学部件支承部分。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的光学部件安装座(1，100，200)，其中，所述固定部分(10，110，210)和所述可移动部分(20，120，220)包括金属材料。