[发明专利]泵送单元

权利要求书

1.一种泵送单元(1)，包括粗真空泵(2)和罗茨真空泵(3)，所述罗茨真空泵与所述粗真空泵(2)串联连接并且在被泵送气体的流动方向(G)上位于所述粗真空泵(2)的上游，其特征在于：

-所述罗茨真空泵(3)具有三个泵送级(B1-B3)，在罗茨真空泵的泵送级中转子(10)被设计为由所述罗茨真空泵(3)的马达(M2)同时驱动而旋转，并且

-所述粗真空泵(2)的在被泵送气体的流动方向(G)上的第一泵送级(T1)产生的流量与所述粗真空泵(2)的最后一个泵送级(T3)产生的流量的比率小于或等于四。

2.根据前一权利要求所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述比率小于或等于三。

3.根据前述权利要求中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述粗真空泵(2)具有三至五个泵送级、例如三或四个泵送级(T1-T3)，在粗真空泵的泵送级中转子(10)被设计为由粗真空泵(2)的马达(M1)同时驱动而旋转。

4.根据前述权利要求中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述粗真空泵(2)的第一泵送级(T1)产生的流量小于或等于500m³/h，例如介于200m³/h与300m³/h之间。

5.根据前述权利要求中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述罗茨真空泵(3)的第一泵送级(B1)产生的流量比所述粗真空泵(2)的第一泵送级(T1)产生的流量大十倍或二十倍。

6.根据前述权利要求中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述粗真空泵(2)的第一泵送级(T1)产生的流量介于248m³/h与298m³/h之间，所述粗真空泵(2)的第二泵送级(T2)产生的流量介于124m³/h与149m³/h之间，并且所述粗真空泵(2)的第三泵送级(T3)产生的流量介于124m³/h与149m³/h之间。

7.根据前述权利要求中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述泵送单元包括框架(8)，所述框架以一个在另一个之上的方式承载所述罗茨真空泵(3)和所述粗真空泵(2)，所述粗真空泵(2)布置在所述罗茨真空泵(3)的上方。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述泵送单元包括框架(8)，所述框架以一个在另一个之上的方式承载所述罗茨真空泵(3)和所述粗真空泵(2)，所述罗茨真空泵(3)布置在所述粗真空泵(2)的上方。

9.根据前述权利要求中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述粗真空泵(2)的马达(M1)设计为可变的，以便产生高旋转频率和/或低旋转频率以及介于所述高旋转频率与所述低旋转频率之间的标称旋转频率。

10.根据前一权利要求所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述高旋转频率大于100Hz，所述低旋转频率小于50Hz。

11.根据前述权利要求中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述泵送单元具有使所述罗茨真空泵(3)的排出侧(12)与所述粗真空泵(2)的排出侧(5)连通的旁通管道(13)，所述旁通管道(13)装配有阀装置(14)，所述阀装置设计为在所述罗茨真空泵(3)的吸入侧(11)处的压力大于压力阈值时打开。

12.根据前述权利要求中任一项所述的泵送单元(1)，其特征在于，所述粗真空泵(2)的泵送级(T1，T2，T3)的定子(6)至少部分地由两个半壳(6b，6c)制成，所述两个半壳在组装表面(S)上被组装，所述组装表面穿过承载所述转子(10)的轴的轴线。