[发明专利]遮光板、照相机单元、电子仪器以及遮光板的制造方法

权利要求书

1.一种遮光板，其是金属制的遮光板，其中，

所述遮光板具有：

表面，其位于光的入射侧；

背面，其是所述表面的相反侧的面；以及

孔，其将所述表面与所述背面之间贯通，

所述孔具有：第1孔部分；以及第2孔部分，其在中央开口处与所述第1孔部分连接，所述第1孔部分从所述背面的背面开口延伸至所述中央开口，具有从所述背面朝向所述表面而前端缩细的形状，所述第2孔部分从所述表面的表面开口延伸至所述中央开口，具有从所述表面朝向所述背面而前端缩细的形状，所述表面开口的大小大于所述背面开口的大小，

在沿着与所述表面正交的平面的剖面中，从所述中央开口的边缘和所述背面开口的边缘通过的直线和所述背面形成的角度大于90°。

2.根据权利要求1所述的遮光板，其中，

在沿着与所述表面正交的平面的剖面中，划分出所述第2孔部分的侧面为弧状，并且划分出所述第2孔部分的所述侧面的曲率中心位于所述遮光板的外侧。

3.根据权利要求1或2所述的遮光板，其中，

在沿着与所述表面正交的平面的剖面中，划分出所述第1孔部分的侧面为弧状，并且划分出所述第1孔部分的所述侧面的曲率中心位于所述遮光板的外侧。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的遮光板，其中，

在沿着与所述表面正交的平面的剖面中，从所述中央开口的所述边缘通过且与所述背面平行的直线、和以最短距离将所述中央开口的所述边缘和所述表面开口的边缘连结的直线形成的角度大于或等于20°而小于或等于40°。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的遮光板，其中，

所述遮光板具有大于或等于10μm而小于或等于100μm的厚度。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的遮光板，其中，

所述遮光板是铁-镍类合金制的，或者铁-镍-钴类合金制的。

7.根据权利要求6所述的遮光板，其中，

所述遮光板是殷钢制的，或者是超级殷钢制的。

8.一种照相机单元，其中，

所述照相机单元具有权利要求1至7中任一项所述的遮光板。

9.一种电子仪器，其中，

所述电子仪器具有权利要求8所述的照相机单元。

10.一种遮光板的制造方法，其中，

所述遮光板的制造方法包含如下步骤：

在金属箔的表面和背面分别配置抗蚀剂层；

通过所述抗蚀剂层的曝光和显影而从各抗蚀剂层形成抗蚀剂掩模；

利用在所述背面形成的所述抗蚀剂掩模，在所述金属箔形成第1孔部分，该第1孔部分在所述背面具有背面开口，并且具有从所述背面朝向所述表面而前端缩细的形状；以及

在形成所述第1孔部分之后，利用在所述表面形成的所述抗蚀剂掩模，以与所述第1孔部分连接的方式在所述金属箔形成第2孔部分，该第2孔部分在所述表面具有表面开口，并且具有从所述表面朝向所述背面而前端缩细的形状，

通过形成所述第1孔部分、以及形成所述第2孔部分，从而在沿着与所述表面正交的平面的剖面中，以从所述第2孔部分与所述第1孔部分连接的中央开口的边缘和所述背面开口的边缘通过的直线和所述背面形成的角度大于90°的方式，形成所述第1孔部分及所述第2孔部分。