[发明专利]用于硅树脂声学振动膜的表面处理

权利要求书

1.一种处理用于电声驱动器的硅树脂部件的方法，所述方法包括：

形成主体，所述主体包括具有聚合物主链的弹性体材料，其中所述聚合物主链的一部分包括交替的硅原子和氧原子而不含碳原子，所述主体具有前表面和背表面，其中所述前表面和所述背表面具有第一表面粘性水平；以及

在所述前表面或所述背表面的至少一部分上或之内形成最外层，所述最外层具有小于所述第一表面粘性水平的第二表面粘性水平。

2.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述最外层的步骤包括：氧化所述前表面或所述背表面的至少一部分，以在所述弹性体材料的所述聚合物主链上结合至少一个官能团。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述至少一个官能团由所述聚合物主链上的羟基二醇、羧酸、酮和/或醛组成。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述形成所述最外层的步骤包括：在所述前表面或所述背表面的至少一部分上或之内生成SiO₂。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述形成所述最外层的步骤包括：使用紫外线/臭氧处理生成表面氧化。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述紫外线/臭氧处理包括：紫外光源以两种不同的波长发射能量。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述形成所述最外层的步骤包括：在所述主体的顶部上形成包括硅树脂的持久涂层。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述形成所述最外层的步骤包括：改变所述前表面或所述背表面内的所述最外层的表面化学性质。

9.一种用于电声驱动器的振动膜，所述振动膜包括：

主体，所述主体包括具有聚合物主链的弹性体材料，其中所述聚合物主链的一部分包括交替的硅原子和氧原子而不含碳原子，所述主体具有前表面和背表面，其中所述前表面和所述背表面具有第一表面粘性水平；以及

在所述前表面或所述背表面的至少一部分上或之内的最外层，所述最外层具有小于所述第一表面粘性水平的第二表面粘性水平。

10.根据权利要求9所述的振动膜，其中所述最外层包括在所述主体的顶部上由硅树脂制成的持久涂层。

11.根据权利要求10所述的振动膜，其中所述持久涂层均匀地分布在所述前表面和所述背表面上。

12.根据权利要求9所述的振动膜，其中所述最外层包括在所述前表面或所述背表面内的最顶层。

13.根据权利要求9所述的振动膜，其中所述最外层包括经由表面氧化结合在所述聚合物主链上的至少一个官能团。

14.根据权利要求13所述的振动膜，其中所述至少一个官能团由所述聚合物主链上的羟基二醇、羧酸、酮和/或醛组成。

15.根据权利要求13所述的振动膜，其中所述最外层包括在所述前表面或所述背表面的至少一部分上或之内的SiO₂。

16.根据权利要求13所述的振动膜，其中所述表面氧化是使用紫外线/臭氧处理生成的。