[发明专利]X射线检查装置以及X射线检查方法有效
申请号: | 202080045901.6 | 申请日: | 2020-12-15 |
公开(公告)号: | CN114026411B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 七吕真;惠木守 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | G01N23/046 | 分类号: | G01N23/046;G01N23/044 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 邓毅;黄纶伟 |
地址: | 日本国京*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射线 检查 装置 以及 方法 | ||
1.一种X射线检查装置,其具有:
X射线源,其产生向检查对象照射的X射线;
X射线照相机,其拍摄基于从所述X射线源向所述检查对象照射的X射线的X射线图像;以及
保持部,其保持所述检查对象,
通过所述X射线源、所述X射线照相机以及所述保持部中的任意方作为旋转部进行旋转运动,一边变更拍摄方向一边拍摄所述X射线图像,取得所述检查对象的三维图像并进行检查,
所述X射线检查装置的特征在于,
所述旋转部通过能够使该旋转部移动的载台的驱动而沿着连续的轨迹在多个场所依次进行旋转运动,并且进行用于从一个旋转运动的旋转结束点向下一个旋转运动的旋转开始点移动的移动运动,
所述旋转部不具有在所述旋转运动和所述移动运动的途中停止的停止区间。
2.根据权利要求1所述的X射线检查装置,其特征在于,
在所述旋转部从一个旋转运动的旋转结束点向下一个旋转运动的旋转开始点移动时,作为所述旋转部的所述X射线源、所述X射线照相机以及所述保持部中的任意方沿着特定移动轨道移动,该特定移动轨道是将所述一个旋转运动的旋转圆和所述下一个旋转运动的旋转圆在所述旋转结束点和所述旋转开始点处平滑地连结起来的轨道,
所述特定移动轨道是在所述旋转结束点和/或所述旋转开始点处所述旋转部的线速度连续的轨道。
3.根据权利要求2所述的X射线检查装置,其特征在于,
所述特定移动轨道是在所述旋转结束点和/或所述旋转开始点处所述旋转部的线速度和加速度连续,或者在所述旋转结束点和/或所述旋转开始点处所述旋转部的线速度、加速度以及跃度连续的轨道。
4.根据权利要求3所述的X射线检查装置,其特征在于,
在所述旋转结束点和/或所述旋转开始点处所述旋转部的加速度为0。
5.根据权利要求2所述的X射线检查装置,其特征在于,
所述特定移动轨道是通过多项式定义的。
6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的X射线检查装置,其特征在于,
所述一个旋转运动的旋转圆的旋转开始点和/或旋转结束点是将前一个旋转运动和所述下一个旋转运动的旋转圆的中心与所述一个旋转运动的旋转圆的中心连结起来的直线与所述一个旋转运动的旋转圆的2个交点间的、所述一个旋转运动的旋转圆上的较短一方的圆弧的中点。
7.根据权利要求6所述的X射线检查装置,其特征在于,
在无法确定所述一个旋转运动的旋转圆上的较短一方的圆弧的情况下,所述一个旋转运动的旋转结束点和所述下一个旋转运动的旋转开始点在各旋转运动的旋转圆上被配置在规定的角度位置。
8.根据权利要求1至5中的任意一项所述的X射线检查装置,其特征在于,
所述一个旋转运动的旋转结束点和所述下一个旋转运动的旋转开始点在各旋转运动的旋转圆上被配置在同一角度位置。
9.根据权利要求2至5中的任意一项所述的X射线检查装置,其特征在于,
所述旋转部是所述X射线源、所述X射线照相机以及所述保持部中的任意2个,所述特定移动轨道是将所述X射线源、所述X射线照相机以及所述保持部中的任意2个中的进行更大半径的旋转运动的一方的、所述一个旋转运动的旋转圆和所述下一个旋转运动的旋转圆在所述旋转结束点和所述旋转开始点处平滑地连结起来的轨道。
10.根据权利要求9所述的X射线检查装置,其特征在于,
所述X射线源、所述X射线照相机以及所述保持部中的任意2个中的进行更小半径的旋转运动的一方与所述X射线源、所述X射线照相机以及所述保持部中的任意2个中的进行更大半径的旋转运动的一方同时到达下一个旋转运动的旋转圆的所述旋转开始点。
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