[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，包含第1弹性波谐振器单元、第2弹性波谐振器单元，其中，具备：

压电性基板；

第1IDT电极，形成在所述压电性基板上，构成第1弹性波谐振器单元；

第2IDT电极，形成在所述压电性基板上，构成与所述第1弹性波谐振器单元电连接的第2弹性波谐振器单元；以及

级间连接部，连接所述第1弹性波谐振器单元和所述第2弹性波谐振器单元，

所述第1IDT电极具有：第1汇流条；第2汇流条，与所述第1汇流条隔开配置；多根第1电极指，一端与所述第1汇流条连接，并向所述第2汇流条侧延伸；以及多根第2电极指，一端与所述第2汇流条连接，并向所述第1汇流条侧延伸，

所述第2IDT电极具有：第3汇流条；第4汇流条，与所述第3汇流条隔开配置；多根第3电极指，一端与所述第3汇流条连接，并向所述第4汇流条侧延伸；以及多根第4电极指，一端与所述第4汇流条连接，并朝向所述第3汇流条侧延伸，

在所述第1IDT电极、所述第2IDT电极各自中，在所述第1电极指、所述第2电极指或所述第3电极指、所述第4电极指延伸的方向中央设置有中央区域，在所述第1电极指、所述第2电极指或所述第3电极指、所述第4电极指延伸的方向上，在所述中央区域的两个外侧设置有声速比所述中央区域低的第1低声速区域、第2低声速区域，在所述第1电极指、所述第2电极指或所述第3电极指、所述第4电极指延伸的方向上的所述第1低声速区域、第2低声速区域的两个外侧，设置有声速比所述中央区域高的第1高声速区域、第2高声速区域，

在所述第1IDT电极中，在所述第1高声速区域、第2高声速区域中，在所述第1汇流条、所述第2汇流条的双方设置有沿着弹性波传播方向配置的多个开口部，

在所述第2IDT电极中，在所述第3汇流条、所述第4汇流条中的所述第3汇流条中，在第1高声速区域中设置有沿着弹性波传播方向配置的多个开口部，在所述第4汇流条中，未在第2高声速区域中设置所述开口部。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述第1弹性波谐振器单元、所述第2弹性波谐振器单元串联地连接。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述压电性基板具有高声速构件和层叠在所述高声速构件上的压电膜，

所述高声速构件由传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速高的高声速材料构成。

4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

所述高声速构件是由所述高声速材料构成的支承基板。

5.根据权利要求3或4所述的弹性波装置，其中，

还具备：低声速膜，层叠在所述高声速构件与所述压电膜之间，由传播的体波的声速比在所述压电膜传播的体波的声速低的低声速材料构成。

6.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，

还具备：支承基板，对所述高声速构件进行支承。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述弹性波装置通过进行多级分割而构成，使得除了所述第1弹性波谐振器单元、第2弹性波谐振器单元以外，还具有至少一个弹性波谐振器单元。