[发明专利]装置和用于制造装置的方法

权利要求书

1.一种包括栅极焊盘、源极焊盘和无源致动器的装置，所述无源致动器被布置成仅当所述无源致动器中的温度超过阈值时，才在所述栅极焊盘和所述源极焊盘之间形成可逆机械连接和电连接。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述无源致动器包括可热延展导电材料，当所述无源致动器中的温度超过所述阈值时，所述可热延展导电材料至少从所述源极焊盘延伸到所述栅极焊盘。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述无源致动器永久地连接到所述源极焊盘并热耦合到所述源极焊盘。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，所述装置还包括用于支承所述栅极焊盘和所述源极焊盘的基板，其中，所述无源致动器从所述基板延伸。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的装置，其中，所述无源致动器从所述源极焊盘延伸。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的装置，其中，所述无源致动器是使用微机电系统技术制造的。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，所述装置还包括外部电路，所述外部电路用于检测所述栅极焊盘和所述源极焊盘之间的连接状态并且基于所述连接状态产生信号。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的装置，其中，所述无源致动器包括两个臂，每个臂包括第一末端和第二末端，其中，每个臂的第一末端连接在一起并且每个臂的第二末端各自连接到所述源极焊盘的不同点。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的装置，所述装置还包括加热器件，以在施加高于预定水平的致动器电压的情况下将所述无源致动器温度保持为高于所述阈值。

10.根据权利要求9所述的装置，其中，所述加热器件包括用于通过焦耳效应加热所述无源致动器的电阻。

11.根据权利要求8所述的装置，所述装置还包括加热器件，以在施加高于预定水平的致动器电压的情况下将所述无源致动器温度保持为高于所述阈值，其中，所述加热器件包括用于通过焦耳效应加热所述无源致动器的电阻，其中，所述无源致动器的至少一个臂具有与通过所述焦耳效应加热所述致动器的电阻相关的预定宽度。

12.根据权利要求8所述的装置，所述装置还包括加热器件，以在施加高于预定水平的致动器电压的情况下将所述无源致动器温度保持为高于所述阈值，其中，所述加热器件包括用于通过焦耳效应加热所述无源致动器的电阻，其中，所述无源致动器的至少一个臂的宽度介于4μm和40μm之间。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的装置，所述装置还包括多个无源致动器，每个无源致动器被布置成仅当所述无源致动器中的温度超过针对每个无源致动器不同的各自阈值时，才在所述栅极焊盘和所述源极焊盘之间形成可逆机械连接和电连接。

14.一种用于制造包括栅极焊盘、源极焊盘和无源致动器的装置的方法，所述无源致动器被布置为仅当所述无源致动器中的温度超过阈值时，才在所述栅极焊盘和所述源极焊盘之间形成可逆机械连接和电连接，所述方法包括以下步骤：

-提供包括晶体管区域的装置；

-在所述晶体管区域的部分表面上注入牺牲氧化物；

-使包括注入的牺牲氧化物的所述晶体管区域的表面金属化以形成所述栅极焊盘、所述源极焊盘和所述无源致动器，所述无源致动器在所述牺牲氧化物的至少一部分上延伸；以及

-去除所述牺牲氧化物。