[发明专利]无溶剂的钙钛矿沉积方法在审
| 申请号： | 202080038466.4 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN113874541A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | M·D·埃尔文;M·希金斯;D·W·米勒 | 申请（专利权）人： | 亨特钙钛矿技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/30;C23C16/40;C30B29/22 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溶剂 钙钛矿 沉积 方法 | ||
1.一种无溶剂的钙钛矿沉积方法，包括：
将铅靶和基材加载到沉积腔室中；
将沉积腔室中的压力降低到小于或等于5×10-6乇；
蒸发该铅靶；
用盐前体的蒸气回填沉积腔室；和
在基材上沉积钙钛矿材料。
2.根据权利要求1所述的方法，其中：
通过将电子束施加到铅靶进行蒸发；
铅靶包含碘化铅(II)；
盐前体包含选自碘化甲脒鎓、甲基碘化铵及其组合的盐。
3.根据权利要求1所述的方法，其中：
通过将电子束施加到铅靶来进行蒸发；
盐前体包含选自甲脒鎓、甲基胺及其组合的盐；和
该方法还包括用碘化氢蒸气回填沉积腔室。
4.根据权利要求1所述的方法，其中以的速率制备沉积物的首先20nm。
5.根据权利要求1所述的方法，其中：
通过将电子束施加到铅靶进行蒸发；
盐前体包含碘化氢；和
该方法还包括：
将薄膜转移到热蒸发器；和
沉积选自碘化甲脒鎓、甲基碘化铵及其组合的第二盐前体。
6.根据权利要求1所述的方法，其中：
通过将阴极弧施加到铅靶来进行蒸发；
将腔室中的压力降低到10-8至10-12乇的范围；
盐前体包含碘化氢；和
该方法还包括：
将薄膜转移到热蒸发器；和
沉积选自碘化甲脒鎓、甲基碘化铵及其组合的第二盐前体。
7.根据权利要求1所述的方法，其中：
通过将脉冲激光施加到铅靶进行蒸发；
将腔室中的压力降低到10-8至10-12乇的范围；
盐前体包含选自碘化甲脒鎓、甲基碘化铵及其组合的盐。
8.根据权利要求1所述的方法，其中以2-100sccm的速率进行回填。
9.无溶剂的钙钛矿沉积方法，包括：
将铅粉末样品加载到坩埚中；
将基材面朝下放置在坩埚中的粉末上方；
将沉积腔室中的压力降低到200毫乇；
升华铅粉末样品；
在基材上制备第一沉积物。
10.根据权利要求9所述的方法，其中：
铅粉末样品包含碘化铅(II)；
该方法还包括在制备第一沉积物之前用盐前体的蒸气回填沉积腔室，所述盐前体包含选自碘化甲脒鎓、甲基碘化铵及其组合的盐；和
其中第一沉积物是钙钛矿材料。
11.根据权利要求10所述的方法，其中以的速率制备沉积物的首先20nm。
12.根据权利要求9所述的方法，还包括：
在制造首先沉积物之后，用碘化氢蒸气和甲脒鎓或甲基胺中的一者或两者回填沉积腔室；
在基材上制备第二沉积物，第二沉积物钙钛矿材料。
13.根据权利要求9所述的方法，其中：
铅粉末样品包含碘化铅(II)；和
该方法还包括：
用盐前体粉末替换坩埚中的剩余铅粉末样品，所述盐前体包含选自碘化甲脒鎓、甲基碘化铵及其组合的盐；
升华盐前体；
在基材上制备第二沉积物，第二沉积物钙钛矿材料。
14.根据权利要求13所述的方法，其中以的速率制备沉积物的首先20nm。
15.根据权利要求10所述的方法，其中以2-100sccm范围内的速率进行回填。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亨特钙钛矿技术有限责任公司，未经亨特钙钛矿技术有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202080038466.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
