[发明专利]无损检测及制造计量系统和方法

权利要求书

1.一种通过切换与泵浦光束和探测光束相关联的功能来通过光声计量表征样本的方法，其中第一泵浦脉冲在样本中生成第一声波，所述方法包括：

通过在从所述第一泵浦脉冲起的第一持续时间之后将第一探测脉冲引导到所述样本的所述表面来生成第二声波，其中所述第一探测脉冲反射出所述样本；

在所述第一探测脉冲反射出所述样本的所述表面之后的第二持续时间之后，将第二泵浦脉冲引导到所述样本的所述表面，其中所述第二泵浦脉冲反射所述样本并且被所述第二声波改变；以及

使用所反射的第二泵浦脉冲确定所述样本的第一特性。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一持续时间少于所述第二持续时间。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括基于所述第一探测脉冲确定所述样本在第一深度处的第二特性，其中所述第一特性在第二深度处，并且所述第二深度大于所述第一深度。

4.根据权利要求1所述的方法，还包括基于对延迟阶段的调节来改变延迟。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二泵浦脉冲具有第一偏振并且所述第一探测脉冲具有第二偏振。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括将第三泵浦脉冲和第三探测脉冲引导到所述样本上的与所述第一泵浦脉冲和所述第二探测脉冲被引导到的位置不同的位置。

7.根据权利要求6所述的方法，其中：

所述第三泵浦脉冲是从所述第一泵浦脉冲分离出来的次级泵浦脉冲；并且

所述第三探测脉冲是从所述第一探测脉冲分离出来的次级探测脉冲。

8.一种通过切换与泵浦光束和探测光束相关联的功能来通过光声计量表征样本的方法，所述方法包括：

将第一泵浦脉冲引导朝向所述样本的所述表面，其中所述第一泵浦脉冲在所述样本的本体中生成第一声波；

将第一探测脉冲引导朝向所述样本的所述表面，其中所述第一探测脉冲在所述样本的所述本体中生成第二声波；

将第二泵浦脉冲引导朝向所述样本的所述表面，其中当所述第二泵浦脉冲从所述样本的所述表面反射时，所述第二泵浦脉冲被所述第二声波改变以产生经反射的第二泵浦脉冲；

基于所检测到的经反射的第二泵浦脉冲确定所述样本在第一深度处的第一特性。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括：

检测经反射的第一探测脉冲；以及

基于所检测到的经反射的第一探测脉冲确定所述样本在第二深度处的第二特性。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一泵浦脉冲到达所述表面和所述第一探测脉冲到达所述表面之间的持续时间少于所述第一探测脉冲到达所述表面和所述第二泵浦脉冲到达所述表面之间的持续时间。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述第一深度大于所述第二深度。

12.根据权利要求9所述的方法，其中所述第一探测脉冲穿过可变延迟阶段，并且所述方法还包括：

增加所述可变延迟阶段的所述长度；

在增加所述可变延迟阶段的所述长度之后，将第三泵浦脉冲引导到所述表面，其中所述第三泵浦脉冲在所述样本中生成第三声波；

将第二探测脉冲引导穿过所述可变延迟阶段并朝向所述样本的所述表面，其中：

当所述第二探测脉冲从所述样本的所述表面反射时，所述第二探测脉冲被所述第三声波改变以产生经反射的第二探测脉冲；

所述第二探测脉冲在所述样本的所述本体中生成第四声波；

检测所述经反射的第二探测脉冲；以及

基于所检测到的经反射的第二探测脉冲确定所述样本在第三深度处的第三特性，其中所述第三深度大于所述第二深度。