[发明专利]蒸镀掩模用盒体

说明书

本发明涉及一种蒸镀掩模用盒体，构成为收容蒸镀掩模，该蒸镀掩模包括形成有多个贯通孔的图案区域以及包围上述图案区域的周边区域。蒸镀掩模用盒体具备：支撑部，包括当蒸镀掩模用盒体收容蒸镀掩模时对蒸镀掩模进行支撑的平坦的支撑面；盖部，包括当蒸镀掩模用盒体收容蒸镀掩模时与支撑部对置的对置面以及从对置面凹陷的凹部，从与支撑面对置的视点观察，以蒸镀掩模的图案区域位于上述凹部内、且周边区域延伸到凹部之外的方式对蒸镀掩模进行覆盖；以及标识，用于使盖部与支撑部相区别。

技术领域

本发明涉及一种为了搬运蒸镀掩模而使用的蒸镀掩模用盒体。

背景技术

用于搬运蒸镀掩模的蒸镀掩模用盒体具备支撑部、以及与支撑部重合的盖部。盖部具有与支撑部对置的平坦面。支撑部在与盖部的平坦面对置的面具有凹部。凹部由具有挠性的膜覆盖。当在支撑部与盖部之间收容了蒸镀掩模的情况下，形成有多个贯通孔的图案区域隔着膜配置于凹部(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2018/061757号

发明内容

发明所要解决的课题

然而，当在蒸镀掩模的搬运时对蒸镀掩模用盒体施加了振动的情况下，沿着支撑部与盖部对置的方向的力作用于蒸镀掩模，由此，蒸镀掩模的图案区域挠曲为朝向凹部的凸状。蒸镀掩模的这样的挠曲虽然能够通过对蒸镀掩模进行支撑的挠性的膜得以抑制，但根据施加于蒸镀掩模用盒体的振动的大小不同，有时蒸镀掩模与膜一起挠曲成导致蒸镀掩模的图案区域变形的程度。

本发明的目的在于提供一种在蒸镀掩模的搬运时能够抑制蒸镀掩模所具有的图案区域变形的蒸镀掩模用盒体。

用于解决课题的手段

用于解决上述课题的蒸镀掩模用盒体构成为收容蒸镀掩模，该蒸镀掩模包括形成有多个贯通孔的图案区域以及包围上述图案区域的周边区域，其中，该蒸镀掩模用盒体具备：支撑部，包括当上述蒸镀掩模用盒体收容上述蒸镀掩模时对上述蒸镀掩模进行支撑的平坦的支撑面；盖部，包括当上述蒸镀掩模用盒体收容上述蒸镀掩模时与上述支撑部对置的对置面以及从上述对置面凹陷的凹部，从与上述支撑面对置的视点观察，以上述蒸镀掩模的上述图案区域位于上述凹部内、且上述周边区域延伸到上述凹部之外的方式对上述蒸镀掩模进行覆盖；以及标识，用于使上述盖部与上述支撑部相区别。

根据上述蒸镀掩模用盒体，具有凹部的盖部通过标识而容易被识别，因此容易以夹着蒸镀掩模而盖部位于支撑部上的方式相对于支撑部配置盖部。然后，通过平坦的支撑面来支撑蒸镀掩模，且盖部不与图案区域接触。因此，通过支撑面来抑制蒸镀掩模的挠曲，并且在经由蒸镀掩模用盒体而对蒸镀掩模施加了振动的情况下，能够抑制蒸镀掩模的图案区域与盖部接触。由此，能够抑制蒸镀掩模搬运时的图案区域变形，进而能够抑制图案区域中形成的贯通孔变形。

在上述蒸镀掩模用盒体中也可以还具备：一对紧固部，在上述蒸镀掩模用盒体的长边方向上，隔着上述凹部而在比上述凹部靠外侧的位置与上述盖部以及上述支撑部接触，由此将上述盖部紧固于上述支撑部。根据该蒸镀掩模用盒体，能够抑制由于紧固部为了将支撑部与盖部紧固而对蒸镀掩模用盒体作用的力而使蒸镀掩模的图案区域变形。

在上述蒸镀掩模用盒体也可以可还具备：缓冲部，在上述盖部的厚度方向上位于上述盖部与上述蒸镀掩模之间，覆盖上述盖部的上述凹部。根据该蒸镀掩模用盒体，通过缓冲部抑制了盖部的凹部与在对置面中位于凹部周围的部分之间的阶梯差使应力集中于蒸镀掩模的一部分。