[发明专利]组装高纯度液体分配系统的方法和装置

说明书

一种用于组装高纯度液体分配系统的方法和装置。管道的远端部分被加热然后被推动到套筒上方，使得远端部分可以在套筒上方具有收缩密封配合，以减少管道从配件中意外或无意的拉出。还实现了其他益处，例如流过接头和管道的液体的最小流动约束。

技术领域

本文描述的各种实施例和各个方面涉及用于组装高纯度液体分配系统的方法和装置。

背景技术

高纯度液体分配系统需要相互连接的各种管道和其他部件，其控制在半导体制造中使用的液体的流动。液体分配系统在高温和高于大气压的压力下运行，因此具有某些独特的需求。在组装这些类型的高纯度液体分配系统时，存在某些缺陷。

因此，本领域需要一种用于组装高纯度液体分配系统的改进方法和装置。

发明内容

本文所描述的各个方面解决了本领域的缺陷。例如，显示了用于组装高纯度液体分配系统的机器、管道、套筒、配件和联管螺母。另外，本文描述了一种利用该机器、管道、套筒、配件和联管螺母组装高纯度液体分配系统的方法。本文描述的方法和装置允许在管道和套筒之间的收缩密封配合连接，以在接头被组装时提高管道的拔出强度。此外，接头中的变形被最小化以最小化通过接头的流体流动约束。另外，接头的内径在联管螺母被安装前和联管螺母被安装后以及从配件移除后是相同的。

更特别地，公开了一种将由PFA材料制成的管道连结到由PFA材料制成的套筒的方法。该方法可包括如下步骤：将加热主体加热至比PFA材料的软化温度低至少15摄氏度的温度；将管道的远端部分布置在形成于加热主体中的孔中，直至管道的远端部分处于柔韧状态；在心轴的柱形杆上布置套筒；用手握住管道；在用手握住管道时，将管道的远端部分从加热主体的孔中拉出；在移除步骤后10秒内，将被加热的管道的远端部分推到柱形杆和套筒上方；在推动步骤后10秒内，立即从心轴的柱形杆上移除被附接的管道和套筒；允许管道的远端部分保持在温度为15摄氏度至38摄氏度之间的空气中，直到管道的远端部分的温度低于38摄氏度。

该方法还可包括以与管道的外径相比更快的速率减小管道的内径以将管道的远端部分收缩到套筒上的步骤。

在该方法中，推动步骤可包括推动经加热管道的远端部分直到管道的远端部分的远端接触套筒的止动凸缘的步骤。

在该方法中，管道的内表面与套筒的扩大部分的外表面和套筒的直径被减小的柱形区段的外表面之间的连接百分比可等于或大于75％。连接百分比可在90％与96％之间。

在该方法中，移除步骤可在推动步骤之后的3秒内被执行。

在加热步骤中，加热主体可被加热至250摄氏度与290摄氏度之间的温度。

在另一方面，公开了一种用于将管道安装至套筒的机器。该机器可包括加热主体、加热器、控制器和心轴，加热主体具有内径大于管道外径的孔并且该孔具有大于套筒长度的3/4的深度；加热器与加热主体热连通以将热量从加热器传递到加热主体，以将加热主体的温度升高至约管道材料的软化温度；控制器与加热器电连通并可操作以打开和关闭加热器；心轴与控制器相邻并且具有限定外径小于管道内径的柱形杆。

心轴还可具有在接合位置和脱离位置之间可滑动地布置在柱形杆的远端部分上的护圈套筒。在接合位置，与护圈套筒处于脱离位置时相比，多个臂可从护圈套筒和柱形杆的中心轴线向外展开至更大程度。

在另一方面，公开了一种将管道附接到配件的方法。该方法可以包括如下步骤：提供被布置在套筒上的管道，套筒和管道在彼此连结时限定配合挤压表面，其在套筒的扩大部分的基部和顶点之间延伸并具有圆锥形构造，管道和套筒的配合挤压表面在套筒的圆锥形表面的长度的至少75％上相互连接；将管道和套筒插入配件中；将螺母拧到配件的螺纹上，使得螺母的挤压表面接触并推靠在与配合挤压表面对齐的管道的外表面上；将螺母扭转到配件上；通过将螺母扭转到配件上至预定的水平，增加在圆锥形表面处的管道和套筒之间的连接。

在该方法中，被增加的连接的增量至少可为2％。