[发明专利]波导部件和波导层叠体

说明书

本发明的课题在于，抑制多个波导之间的光的干扰，高密度地设置波导。作为解决手段，具有：使光透过的多个芯(104)；包覆部(106)，其包围多个芯(104)，对光的折射率比芯(104)小；以及透射抑制部件(108)，其位于多个芯(104)中的分别相邻的2个芯之间，抑制从芯泄漏的光的透射。

技术领域

本申请公开的技术涉及波导部件和波导层叠体。

背景技术

存在在石英玻璃、Si、InP、Al₂O₃等基板上主要使用石英玻璃、Ti扩散LiNbO₃等无机材料或聚酰亚胺等有机材料而形成的光波导元件。

另外，有一种聚合物涂层玻璃芯光波导，其具备：设置于硅基板上的缓冲层、形成于该缓冲层上的芯部、以及设置于该芯部的周围且由聚合物形成的聚合物包覆部。在该聚合物涂层玻璃芯光波导中，还具备设置于包覆部的上表面的保护用石英玻璃基板。

此外，存在如下的光波导：在下部包覆部的凹状的芯图案和下部包覆部上形成芯层，将从芯图案溢出的芯层除去后，在下部包覆部上形成上部包覆部。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-180648号公报

专利文献2：日本特开平4-238305号公报

专利文献3：日本特开2005-140822号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在具备多个作为光波导的芯的构造中，难以完全消除来自各个光波导的光的泄漏。当来自光波导的泄漏光入射到其他光波导内时，产生光的干扰。为了抑制这样的光的干扰，考虑采用增大多个芯的间隔的构造，但若增大芯的间隔，则难以高密度地设置芯。

本申请的公开技术的目的在于，作为1个方面，抑制多个波导之间的光的干扰，高密度地设置波导。

用于解决课题的手段

在本申请所公开的技术中，具有：使光透过的多个芯；包覆部，其包围多个芯，对光的折射率比芯小；以及透射抑制部件，其位于包覆部内的多个芯中的分别相邻的2个芯之间，抑制从芯泄漏的光的透射。

发明效果

在本申请所公开的技术中，能够抑制多个波导之间的光的干扰，能够高密度地设置波导。

附图说明

图1是用与波导的长度方向垂直的方向的剖面表示第一实施方式的波导部件的剖视图。

图2是用与波导的长度方向垂直的方向的剖面表示第二实施方式的波导部件的剖视图。

图3是用与波导的长度方向垂直的方向的剖面表示第三实施方式的波导部件的剖视图。

图4是用与波导的长度方向垂直的方向的剖面表示第四实施方式的波导部件的剖视图。

图5是用与波导的长度方向垂直的方向的剖面表示第五实施方式的波导部件的剖视图。

图6是用与波导的长度方向垂直的方向的剖面表示第六实施方式的波导部件的剖视图。

图7是用与波导的长度方向垂直的方向的截面表示第七实施方式的波导层叠体的截面图。

图8是用与波导的长度方向垂直的方向的截面表示第八实施方式的波导层叠体的截面图。

图9是用与波导的长度方向垂直的方向的截面表示第九实施方式的波导层叠体的截面图。

图10A是表示制造第五实施方式的波导部件的中途的状态的剖视图。