[发明专利]用于电磁辐射检测的感测系统在审
申请号: | 202080029523.2 | 申请日: | 2020-04-17 |
公开(公告)号: | CN113748330A | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | B.丹尼尔;J.普拉萨纳库马尔;A.范德阿沃德;E.J.洛斯 | 申请(专利权)人: | ams有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/64;G01N21/84 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邓亚楠 |
地址: | 奥地利普*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 电磁辐射 检测 系统 | ||
1.一种感测系统,包括:
测量传感器,被配置为检测电磁辐射;
参考传感器,被配置为检测测量不确定性的来源;以及,
屏蔽,被配置为减少所述电磁辐射和所述参考传感器之间的相互作用。
2.根据权利要求1所述的感测系统,其中所述测量传感器包括第一光子计数器,并且其中所述参考传感器包括第二光子计数器。
3.根据权利要求2所述的感测系统,其中所述第一光子计数器包括第一单光子雪崩二极管,并且其中所述第二光子计数器包括第二单光子雪崩二极管。
4.根据任一前述权利要求所述的感测系统,其中所述测量传感器和所述参考传感器位于单个集成电路上。
5.根据权利要求4所述的感测系统,其中所述屏蔽包括位于所述集成电路内的沟槽中的壁。
6.根据任一前述权利要求所述的感测系统,其中所述参考传感器和所述测量传感器被配置为经历基本相同的温度。
7.根据任一前述权利要求所述的感测系统,其中所述测量传感器和所述参考传感器被配置成接收基本相同的偏置电压。
8.根据任一前述权利要求所述的感测系统,其中所述测量传感器被配置成产生指示由所述测量传感器检测到的辐射的测量信号,
并且其中所述参考传感器被配置成产生指示由所述参考传感器检测到的测量不确定性的来源的参考信号,
并且其中所述感测系统还包括处理器,所述处理器被配置成:
接收所述测量信号和所述参考信号;以及,
使用所述参考信号来改善所述测量信号的质量。
9.根据任一前述权利要求所述的感测系统,其中所述测量传感器是多个测量传感器中的一个。
10.根据权利要求9所述的感测系统,其中所述参考传感器是多个参考传感器中的一个。
11.根据权利要求10所述的感测系统,其中测量传感器的数量等于参考传感器的数量。
12.根据权利要求11所述的感测系统,其中所述测量传感器和所述参考传感器被布置成形成阵列,并且其中所述阵列包括交替的测量传感器和参考传感器。
13.根据权利要求10所述的感测系统,其中参考传感器的数量少于测量传感器的数量。
14.根据权利要求13所述的感测系统,其中测量传感器的数量等于参考传感器的数量乘以整数。
15.根据权利要求14所述的感测系统,其中所述测量传感器被配置为每次测量在第一时间量内收集数据,并且其中所述参考传感器被配置为每次测量在第二时间量内收集数据,其中所述第二时间量等于所述第一时间量乘以所述整数。
16.一种包括权利要求1至15中任一项所述的感测系统的电子设备。
17.一种检测电磁辐射的方法,包括:
使用测量传感器来检测电磁辐射;
使用参考传感器来检测测量不确定性的来源;以及,
使用屏蔽来减少所述电磁辐射和所述参考传感器之间的相互作用。
18.根据权利要求17所述的方法,包括使用权利要求1至15中任一项所述的感测系统。
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