[发明专利]表面声波谐振器装置

权利要求书

1.一种表面声波谐振器装置，包括：

-压电衬底(100)；

-表面声波谐振器(110)，包括被设置在所述压电衬底上的叉指式换能器(111，112)；

-沟槽(130)，被设置在所述压电衬底内，所述沟槽面向所述表面声波谐振器(110)。

2.根据权利要求1所述的表面声波谐振器装置，其中所述沟槽(130)与所述表面声波谐振器的边缘(115)相对地延伸。

3.根据权利要求1或2所述的表面声波谐振器装置，其中所述沟槽与所述表面声波谐振器的所述叉指式换能器(111，112)的边缘相对地延伸。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的表面声波谐振器装置，其中所述沟槽(130)被配置为将从所述表面声波谐振器的边缘(115)离开的声波(141，142)反射回所述表面声波谐振器，并且被配置为在所述表面声波谐振器的边缘处实现反射波的相位，而使得在所述表面声波谐振器的边缘处的累加相位为零或基本上为零。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的表面声波谐振器装置，其中所述沟槽(130)设置在距所述表面声波谐振器的边缘一定距离处，所述沟槽具有到所述表面声波谐振器的边缘的最大距离(132)和最小距离(134)，最大距离和最小距离之间的差值为至少1/2λ，其中λ是所述表面声波谐振器的工作频率的波长。

6.根据权利要求5所述的表面声波谐振器装置，其中λ是所述表面声波谐振器的所述叉指式换能器(111，112)的叉指(1111，1121)的间距(114)的两倍。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的表面声波谐振器装置，其中所述沟槽(330)包括一个或多个沟槽部分(331，332)，每个沟槽部分沿着与所述表面声波谐振器的边缘(315)形成角度(α1，α2)的方向延伸。

8.根据权利要求7所述的表面声波谐振器装置，其中级联的沟槽部分(331，332)的所述角度(α1，α2)彼此不同。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的表面声波谐振器装置，进一步包括至少一个其它表面声波谐振器(120)，所述沟槽被设置在所述表面声波谐振器(110)和所述至少一个其它表面声波谐振器(120)之间。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的表面声波谐振器装置，其中所述压电层被设置在载体衬底(240)上，所述载体衬底具有边缘(652)，其中所述载体衬底的所述边缘被设置在所述沟槽(630)之下。

11.根据权利要求1至9中任一项所述的表面声波谐振器装置，其中所述压电层被设置在载体衬底(240)上，所述载体衬底具有边缘(552)，其中所述沟槽(530)被设置在所述载体衬底的所述边缘(552)和所述表面声谐振器(510，511)的边缘(515，516)之间。

12.根据权利要求1至9中任一项所述的表面声波谐振器装置，进一步包括载体衬底(240)以及被设置在所述载体衬底上的电介质温度补偿层(220)，其中所述压电层(210)被设置在所述温度补偿层(220)上。

13.根据权利要求12所述的表面声波谐振器装置，其中所述压电层(210)在所述沟槽(215)内被去除以暴露出所述温度补偿层(220)。

14.根据权利要求12所述的表面声波谐振器装置，其中所述压电层(210)和所述温度补偿层(220)在所述沟槽(215)内被去除。