[发明专利]检查装置及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，其中，

是对形成有多个发光元件的对象物进行检查的检查装置，

具备：

激发光源，其产生照射至所述对象物的激发光；

第1摄像部，其对来自所述发光元件的荧光中较第1波长更长的波长的荧光进行摄像；及

判定部，其基于由所述第1摄像部所取得的第1荧光图像判定所述发光元件的好坏，

所述第1波长是所述发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上该正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长。

2.如权利要求1所述的检查装置，其中，

还具备：

光学元件，其将来自所述发光元件的荧光分离为较所述第1波长更长的波长的荧光及较第2波长更短的波长的荧光；及

第2摄像部，其对较所述第2波长更短的波长且包含于所述发光元件的正常荧光光谱的波长的荧光进行摄像。

3.如权利要求2所述的检查装置，其中，

所述第1波长与所述第2波长为相同波长，

所述光学元件为分色镜。

4.如权利要求2或3所述的检查装置，其中，

所述判定部基于所述第1荧光图像及由所述第2摄像部所取得的第2荧光图像判定所述发光元件的好坏。

5.如权利要求4所述的检查装置，其中，

所述判定部基于所述第2荧光图像判定所述发光元件的好坏，并且在该判定后基于所述第1荧光图像对该判定中被判定为良好的所述发光元件判定好坏。

6.如权利要求4所述的检查装置，其中，

所述判定部基于所述第2荧光图像判定所述发光元件的好坏，并且在该判定后基于所述第1荧光图像对该判定中被判定为不良的所述发光元件判定好坏。

7.如权利要求4～6中任一项所述的检查装置，其中，

所述判定部基于所述第2荧光图像的亮度判定所述发光元件的好坏，并且基于所述第1荧光图像中所含的亮点判定所述发光元件的好坏。

8.如权利要求1～7中任一项所述的检查装置，其中，

所述判定部输出各发光元件的好坏判定结果。

9.如权利要求1～8中任一项所述的检查装置，其中，

所述判定部特定所述发光元件内的不良部位，并输出该不良部位的位置。

10.一种检查方法，其中，

是对形成有多个发光元件的对象物进行检查的检查方法，

具备：

激发光照射步骤，其对所述对象物照射激发光；

第1摄像步骤，其对来自所述发光元件的荧光中较第1波长更长的波长的荧光进行摄像；及

判定步骤，其基于所述第1摄像步骤中所取得的第1荧光图像判定所述发光元件的好坏，

所述第1波长是所述发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上该正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长。

11.如权利要求10所述的检查方法，其中，

还具备：

分离步骤，其将来自所述发光元件的荧光分离为较所述第1波长更长的波长的荧光及较第2波长更短的波长的荧光；及

第2摄像步骤，其对较所述第2波长更短的波长且包含于所述发光元件的正常荧光光谱的波长的荧光进行摄像。

12.如权利要求11所述的检查方法，其中，

所述第1波长与所述第2波长为相同波长。

13.如权利要求11或12所述的检查方法，其中，

在所述判定步骤中，基于所述第1荧光图像及所述第2摄像步骤中所取得的第2荧光图像判定所述发光元件的好坏。