[发明专利]稀药液制造装置在审
| 申请号： | 202080020215.3 | 申请日： | 2020-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN113557078A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 杉田航;小川祐一 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | B01F1/00 | 分类号： | B01F1/00;B01F3/08;B01F5/00;B01F15/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 药液 制造 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种稀药液制造装置，其是通过向第一液体中添加第二液体从而制造该第二液体的稀药液的稀药液制造装置，其中，
具有：
流通所述第一液体的第一配管；
储存所述第二液体的原液罐；
将所述原液罐与所述第一配管连接的第二配管；
通过所述第二配管将所述第二液体添加到所述第一配管内的泵；
设置于比所述第一配管与所述第二配管的连接部位在所述第一液体的流动方向更靠下游侧的电导率测量机构；以及
根据所述电导率测量机构的测量值来控制所述泵的控制机构。
2.如权利要求1所述的稀药液制造装置，其中，
以所述第二配管的前端插入到相对于所述第一配管的内径为大致中央的位置的状态连接。
3.如权利要求1或2所述的稀药液制造装置，其中，
在所述第一配管中，在所述第一配管与所述第二配管的连接部位附近设置第一弯曲部。
4.如权利要求3所述的稀药液制造装置，其中，
在所述第一配管中，在所述第一弯曲部与所述电导率测量机构之间形成有第二弯曲部，
所述第一弯曲部与所述第二弯曲部的间隔为20～50cm。
5.如权利要求1～4中任一项所述的稀药液制造装置，其中，
所述第一配管中的和所述第二配管的连接部位与所述电导率测量机构的间隔为30～70cm。
6.如权利要求1～5中任一项所述的稀药液制造装置，其中，
所述第一液体为超纯水，所述第二液体为氨。
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