[发明专利]超声波传感器

说明书

本发明涉及超声波传感器。超声波传感器(1)具备第一电极(21c；20)、第二电极(41)以及第三电极(42)。上述第一电极设置于具备振动元件(21)的超声波麦克风(2)，该振动元件(21)具有机械振动与电信号之间的转换功能。上述第二电极以其与上述第一电极之间的电特性根据附着物(S)对上述超声波麦克风的附着状态而变化的方式，设置于上述超声波麦克风的外部。上述第三电极设置为抑制由上述附着物对上述超声波麦克风的附着以外的原因引起的上述第一电极与上述第二电极之间的电特性的变化。

相关申请的交叉引用

本申请基于2019年3月11日申请的日本专利申请编号2019-44011号的内容，在此将其记载内容通过参照而引入。

技术领域

本发明涉及超声波传感器。

背景技术

公知有通过超声波的收发来检测物体的超声波传感器。具体而言，这种超声波传感器通过压电元件等振动元件激励隔膜部来发送超声波。另外，这种超声波传感器通过将伴随着发送出的超声波的来自物体的反射波的接收的、隔膜部的振动转换为电信号，来检测物体。

在这种超声波传感器中，若水、泥、雪等附着于隔膜部，则存在超声波的发送以及接收受阻，物体的检测性能降低之类的课题。因此，以往提出了各种能够检测附着物附着于超声波传感器的结构。例如，在专利文献1记载了由于超声波振子的阻抗因附着物而变化，所以通过检测该变化而能够进行附着物的检测的技术。

专利文献1：日本特开昭60-15577号公报

超声波传感器广泛地用于车辆的运转辅助、例如停车辅助等。另外，期待超声波传感器用于车辆的自动驾驶等。并且，也期待超声波传感器应用于车辆以外的用途。具体而言，例如在设置于工厂等的输送机、农业设备(例如耕耘机等)、小型航空机等中的、无人化或者自动化时，能够应用超声波传感器。

如上所述，附着物对超声波传感器的附着导致超声波传感器的检测性能的降低。因此，提高针对超声波传感器的附着物的检测精度在超声波传感器的各种用途中是重要的。本发明正是鉴于上述例示的情况等而完成的。

发明内容

根据本发明的一个观点，超声波传感器具备：

第一电极，其设置于具备振动元件的超声波麦克风，该振动元件具有机械振动与电信号之间的转换功能；

第二电极，其设置于上述超声波麦克风的外部，以便其与上述第一电极之间的电特性根据附着物对上述超声波麦克风的附着状态而变化；以及

第三电极，其设置为抑制由上述附着物对上述超声波麦克风的附着以外的原因引起的上述第一电极与上述第二电极之间的电特性的变化。

在上述结构中，上述第一电极与上述第二电极之间的电特性(例如静电电容)根据上述附着物对上述超声波麦克风的附着状态而变化。另一方面，上述电特性也能够由于上述附着物对上述超声波麦克风的附着以外的原因而变化。关于该点，在上述结构中，具备上述第三电极。上述第三电极设置为抑制由上述附着物对上述超声波麦克风的附着以外的原因引起的、上述第一电极与上述第二电极之间的电特性的变化。因此，根据上述结构，能够基于上述第一电极与上述第二电极之间的电特性的变化，高精度地检测上述附着物的附着的有无。

此外，在申请文件中，有时对各要素赋予带括弧的参照符号。然而，即使在该情况下，上述参照符号也只不过是表示各要素与后述的实施方式所记载的具体机构的对应关系的一个例子。因此，本发明并不因上述参照符号的记载而被进行任何限定。

附图说明

图1是表示搭载了是实施方式的超声波传感器的车辆的外观的立体图。

图2是表示实施方式的超声波传感器的简要结构的侧剖视图。

图3是表示图2所示的超声波麦克风的外观的主视图。