[发明专利]固定频率量子位的共振频率调整

权利要求书

1.一种方法，包括：

形成用于非线性共振器的电容器焊盘；

将所述非线性共振器的共振频率与目标频率进行比较，以确定所述共振频率是否落在所述目标频率的范围内；以及

响应于所述共振频率未落入所述范围内而移除所述电容器焊盘的一部分。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

移除第二电容器焊盘的片段以形成桥接件，所述桥接件电耦合所述第二电容器焊盘的第一部分和所述电容器焊盘的第二部分。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述部分包括所述桥接件。

4.如权利要求2所述的方法，其中通过掩蔽和蚀刻所述第二电容器焊盘来去除所述片段。

5.如权利要求1所述的方法，还包括：

移除第二电容器焊盘的多个片段以形成多个桥接件。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述部分包括所述多个桥接件。

7.如权利要求5所述的方法，其中通过掩蔽和蚀刻所述第二电容器焊盘来去除所述多个片段。

8.如权利要求1所述的方法，还包括：

响应于所述共振频率未落入所述可接受范围内，移除第二电容器焊盘的第二部分。

9.如权利要求1所述的方法，其中通过激光烧蚀去除所述部分。

10.如权利要求1所述的方法，其中通过离子束铣削去除所述部分。

11.一种非线性共振器装置，包括：

包括超导材料的第一电容器焊盘，所述第一电容器焊盘被配置为耦合到逻辑电路元件的第一端；

包括第二超导材料的第二电容器焊盘，所述电容器焊盘被配置为耦合到所述逻辑电路元件的第二端，所述第二电容器焊盘包括：

第一部分；

第二部分；以及

桥接件，被配置为电连接所述第一部分和所述第二部分。

12.如权利要求11所述的非线性共振器，其中所述桥接件被配置为可通过掩蔽和蚀刻来移除。

13.如权利要求11所述的非线性共振器，其中所述桥接件被配置为可通过激光烧蚀来移除。

14.如权利要求11所述的非线性共振器，其中所述桥接件被配置为可通过离子束铣削来移除。

15.如权利要求12所述的非线性共振器，所述第一电容器焊盘还包括：

第一部分；

第二部分；以及

桥接件，其被配置为电连接所述第一部分和所述第二部分。

16.如权利要求15所述的非线性共振器，其中所述第一电容器焊盘和所述第二电容器焊盘是对称的。

17.如权利要求15所述的非线性共振器，其中所述第一电容器焊盘和所述第二电容器焊盘是不对称的。

18.如权利要求11所述的非线性共振器，所述第一电容器焊盘还包括：

多个部分；以及

多个桥接件，其被配置为电连接所述多个部分的相邻部分。

19.如权利要求18所述的非线性共振器，其中所述多个部分是不对称的。

20.一种包括光刻部件的超导体制造系统，所述超导体制造系统在操作以制造超导器件时执行如权利要求1至10中任一项所述的方法的步骤。