[发明专利]控制液滴生成器性能的设备和方法

权利要求书

1.一种设备，包括：

目标材料分配器，具有喷嘴并且适于提供目标材料的流，所述流在离开所述喷嘴之后分裂成第一液滴；

可电致动元件，被机械耦合到所述目标材料分配器并且被布置为基于被施加的波形来在所述流中引起速度扰动，所述速度扰动使所述第一液滴最终在距所述喷嘴的聚结距离内在一个或多个阶段中聚结成大于所述第一液滴的第二液滴；以及

波形生成器，被电耦合到所述可电致动元件并且适于生成所述被施加的波形，所述波形具有正弦波分量和方波分量，所述正弦波分量具有幅度，并且所述方波分量与所述正弦波分量具有相位差，所述幅度和所述相位差被选择以在避免所述聚结距离的突然改变的同时使所述聚结距离最小化。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述可电致动元件是压电元件。

3.一种设备，包括：

目标材料分配器，具有喷嘴并且适于提供目标材料的流，所述目标材料的流在离开所述喷嘴之后分裂成第一液滴；

可电致动元件，被机械耦合到所述目标材料分配器并且被布置为基于被施加的波形来在所述流中引起速度扰动，所述速度扰动使所述第一液滴最终在距所述喷嘴的聚结距离内在一个或多个阶段中聚结成大于所述第一液滴的第二液滴，所述第二液滴被间隔开使得所述第二液滴以交叉间隔经过固定点；

交叉间隔检测器，被布置为确定所述第二液滴的所述交叉间隔并且生成交叉间隔信号；以及

波形生成器，被电耦合到所述可电致动元件，并且适于生成所述被施加的波形，并且适于至少部分地基于所述交叉间隔信号来生成所述被施加的波形。

4.一种方法，包括：

使用目标材料分配器，提供目标材料的流，所述目标材料分配器包括可电致动元件，所述可电致动元件被布置为基于液滴控制信号来在所述流中引起速度扰动；

确定所述流是否包括卫星液滴，并且生成指示所述流是否包括卫星液滴的卫星检测信号；

至少部分地基于所述卫星检测信号，生成波形；以及

将所述波形提供给所述目标材料分配器。

5.根据权利要求4所述的方法，还包括：确定所述流的交叉间隔，以及生成交叉间隔信号，并且其中生成波形的步骤包括至少部分地基于所述交叉间隔信号来生成所述波形。

6.一种确定目标材料分配器的喷嘴的传递函数的方法，所述方法包括：

从所述目标材料分配器，分配EUV目标材料的流；

向可电致动元件施加波形，所述可电致动元件被布置为响应于控制信号而在所述流中引起速度扰动；

确定所述流不包括卫星的所述波形的正弦波分量的幅度的最小值；

确定聚结长度对所述控制信号的正弦波分量与方波分量之间的相位差的依赖性，以及确定出现所述依赖性的不连续的跳跃边界相位差；

确定所述跳跃边界相位对所述最小值的依赖性的斜率；

基于所述斜率，确定阻力系数；以及

基于所述最小值和所述阻力系数，确定在所述正弦波分量的频率处的传递函数。

7.一种方法，包括：

使用具有喷嘴的目标材料分配器来提供目标材料的流，所述目标材料的流在离开所述喷嘴之后分裂成第一液滴；

使用被机械耦合到所述目标材料分配器的可电致动元件，以基于被施加的波形来在所述流中引起速度扰动，所述速度扰动使第一液滴最终在距所述喷嘴的聚结距离内在一个或多个阶段中聚结成大于所述第一液滴的第二液滴；以及

使用被电耦合到所述可电致动元件的波形生成器来生成所述被施加的波形，所述波形具有正弦波分量和方波分量，所述正弦波分量具有幅度，并且所述方波分量与所述正弦波分量具有相位差，所述幅度和所述相位差被选择以在避免所述聚结距离的突然改变的同时使所述聚结距离最小化。