[发明专利]用于无间隙地一维测量X射线辐射的测量系统在审
| 申请号: | 202080015652.6 | 申请日: | 2020-02-18 |
| 公开(公告)号: | CN113454446A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
| 发明(设计)人: | J·芬克;C·毛雷尔;L·布莱格曼;C·维南兹 | 申请(专利权)人: | 布鲁克AXS有限公司 |
| 主分类号: | G01N23/20008 | 分类号: | G01N23/20008 |
| 代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 张立国 |
| 地址: | 德国卡*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 无间 隙地 测量 射线 辐射 系统 | ||
1.一种用于X射线辐射的测量系统(20),该测量系统包括:
-能用X射线(95)照射的样本位置(91),和
-用于探测从所述样本位置(91)发出的X射线辐射的X射线探测器(21),所述X射线探测器包括多个探测器模块(1、1a-1g),
各所述探测器模块(1、1a-1g)分别具有至少一个作用区(3、3a-3c)和包围所述至少一个作用区(3、3a-3c)的死区(6),在所述作用区中能探测到X射线辐射,而在所述死区中不能探测到X射线辐射,
各所述探测器模块(1、1a-1g)关于测量方向(MR)单个地和/或成组地依次相继地布置,
各所述探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)分别构造用于在测量方向(MR)上空间分辨地探测X射线辐射,
所述X射线探测器(21)的所有探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)的整体在测量方向(MR)上具有伸展长度AM并且在横向方向(QR)上具有伸展长度AQ,其中AM≥5*AQ,所述横向方向(QR)局部地横向于测量方向(MR)并且局部地横向于至样本位置(91)的连接方向(VR)延伸,
关于测量方向(MR)依次相继的探测器模块(1、1a-1g)中的至少一部分探测器模块构成重叠区域(23a-23e),在各所述重叠区域中分别有至少两个探测器模块(1、1a-1g)在测量方向(MR)上重叠并且在横向方向(QR)上并排地布置,
在所述重叠区域(23a-23e)中的探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)在测量方向(MR)上直接彼此邻接或者在测量方向(MR)上重叠,使得所述探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)的整体能够实现在测量方向(MR)上无间隙地测量从所述样本位置(91)发出的X射线辐射,
并且所述测量方向(MR)弯曲地延伸,并且各所述探测器模块(1、1a-1g)分别布置在平坦的基座(2)上,该基座垂直于至所述样本位置(96)的局部的连接方向(VR)。
2.根据权利要求1所述的测量系统(20),其特征在于,
所述探测器模块(1、1a-1g)包括第一探测器模块(E)和第二探测器模块(Z),
所述第一探测器模块(E)在测量方向(MR)上依次相继地布置在第一排(R1)中,而所述第二探测器模块(Z)在测量方向(MR)上依次相继地布置在至少一个第二排(R2;R2a、R2b)中,
所述第一排(R1)和所述至少一个第二排(R2;R2a、R2b)关于所述横向方向(QR)并排地布置,
并且所述第一探测器模块(E)相对于所述第二探测器模块(Z)在测量方向(MR)上彼此错开地布置,使得所述第二探测器模块(Z)的作用区(3、3a-3c)与所述第一探测器模块(E)的在测量方向(MR)上不被所述第一探测器模块(E)的作用区(3、3a-3c)重叠的死区(6)在测量方向(MR)上重叠。
3.根据权利要求2所述的测量系统(20),其特征在于,对于在测量方向(MR)上的第一长度L1和在测量方向(MR)上的第二长度L2相应地适用L2≥0.2*L1、优选L2≥0.4*L1,一个第一探测器模块(1、1a-1g)的一个作用区(3、3a-3c)或多个作用区(3、3a-3c)在所述第一长度上延伸,所述第二长度位于在所述至少一个第二排(R2;R2a、R2b)中在测量方向(MR)上依次相继的第二探测器模块(1、1a-1g)的作用区(3、3a-3c)之间,两个所述第二探测器模块与所述一个第一探测器模块(E)一起构成一个重叠区域(23a-23e)。
4.根据权利要求2或3所述的测量系统(20),其特征在于,所述第一排(R1)和所述至少一个第二排(R2;R2a、R2b)包括至少一个具有间距的排,在该具有间距的排中在测量方向(MR)上依次相继的探测器模块(1、1a-1g)关于测量方向(MR)以间距AB彼此间隔开地布置,
尤其是适用AB≥0.3*LM,其中,LM为在所述具有间距的排中的探测器模块(1、1a-1g)在测量方向(MR)上的长度。
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