[发明专利]制造微流体阀和系统的方法

权利要求书

1.一种制造微流体阀的方法，所述方法包括：

在微流体阀体内形成空腔；

将闸门传动元件定位在所述空腔内，其中，所述闸门传动元件将所述空腔分成输入闸门端部和输出闸门端部；和

形成流体通道，所述流体通道包括位于所述微流体阀体内的入口端口、至少部分地位于所述输出闸门端部内的限制区域和出口端口，

其中，所述闸门传动元件被定位和配置为在所述输入闸门端部加压和减压时来回移动，以在所述输入闸门端部加压时限制所述限制区域，从而抑制目标流体从所述入口端口流向所述出口端口，并且在所述输入闸门端部减压时允许或增加目标流体从所述入口端口流向所述出口端口。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，将所述闸门传动元件定位在所述空腔内包括将柱塞定位在所述目标流体室内并且将所述柱塞耦合到柔性膜；并且

还包括：

将柔性泡罩定位在所述输出闸门端部内并且在所述入口端口和所述出口端口上方，在所述流体通道中限定的所述限制区域在所述入口端口和所述出口端口之间并且在所述柔性泡罩内，

其中，所述柱塞被配置为在所述输入闸门端部加压时使所述柔性泡罩变形，以用变形的柔性泡罩阻塞所述限制区域，从而抑制所述目标流体从所述入口端口流向所述出口端口。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，在所述微流体阀体内形成所述空腔包括将所述空腔形成为具有大约1mm²或更小的平行于所述柔性膜截取的横截面积。

4.根据权利要求1-3所述的方法，还包括在所述微流体阀体中形成排气出口，其中，所述排气出口与所述输出闸门端部流体连通。

5.根据权利要求1-4所述的方法，其中，在所述微流体阀体内形成所述空腔包括：

在所述微流体阀体的驱动体部分内形成所述输入闸门端部；

在所述微流体阀体的闸门体部分内形成所述输出闸门端部；和

在所述闸门体部分的表面上形成所述柔性膜。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括：

将所述驱动体部分耦合到所述闸门体部分；

将流体通道体部分耦合到所述闸门体部分；和

在所述流体通道体部分的表面上形成柔性泡罩。

7.根据权利要求6所述的方法，还包括在所述驱动体部分、所述闸门体部分或所述流体通道体部分中的至少一个之上或之中形成至少一个对准标记，其中，将所述驱动体部分耦合到所述闸门体部分和将所述流体通道体部分耦合到所述闸门体部分包括使用所述至少一个对准标记来将所述驱动体部分、所述闸门体部分和所述流体通道体部分彼此对准。

8.根据权利要求1-7所述的方法，其中，在所述微流体阀体内形成所述空腔包括执行至少一个光刻操作。

9.一种制造微流体系统的方法，所述方法包括：

形成微流体阀，包括：

从驱动体部分去除材料以形成输入闸门端部和进入所述输入闸门端部的闸门端口；

在闸门体部分上形成柔性膜；

从所述闸门体部分去除材料以形成输出闸门端部并在所述输出闸门端部内限定柱塞，所述柱塞结合到所述柔性膜；

在流体通道体部分上形成柔性泡罩；

从所述流体通道体部分去除材料以形成与所述柔性泡罩的内部流体连通的入口端口和出口端口；

将所述驱动体部分耦合到所述闸门体部分，并且用所述柔性膜将所述输入闸门端部与所述输出闸门端部分离；和

将所述闸门体部分耦合到所述流体通道体部分；

将驱动流体源可操作地耦合到所述闸门端口；

将目标流体源可操作地耦合到所述入口端口；和

将流体驱动机构可操作地耦合到所述出口端口，以在所述微流体阀处于打开状态时由目标流体操作。