[发明专利]控制带电粒子束的能量散布的装置和方法在审

专利信息
申请号: 202080014117.9 申请日: 2020-02-04
公开(公告)号: CN113424290A 公开(公告)日: 2021-09-21
发明(设计)人: S·B·汉森;任岩;M·R·古森;A·V·G·曼格努斯;E·P·斯马克曼 申请(专利权)人: ASML荷兰有限公司
主分类号: H01J37/04 分类号: H01J37/04;H01J37/05;H01J37/26
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 赵林琳;郑振
地址: 荷兰维*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 控制 带电 粒子束 能量 散布 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种用于使带电粒子束的能量散布变窄的装置,所述装置包括:

结构,限定沿所述带电粒子束的路径的一部分延伸的腔,所述腔具有内部表面;以及

超材料吸收体,设置在所述内部表面上。

2.根据权利要求1所述的装置,其中所述超材料吸收体包括在所述内部表面的至少一部分上的介电材料层,其中所述透明导电材料层设有多个吸收结构。

3.根据权利要求1所述的装置,其中所述超材料吸收体包括在所述内部表面的至少一部分上的透明导电材料层,其中所述透明导电材料层设有多个吸收结构。

4.根据权利要求3所述的装置,其中所述吸收结构是超材料完美吸收体。

5.根据权利要求3所述的装置,其中所述吸收结构是等离子体结构。

6.根据权利要求3所述的装置,其中所述吸收结构谐振地吸收电磁能。

7.根据权利要求3所述的装置,其中所述吸收结构至少部分嵌入或耦合到所述透明导电材料层。

8.根据权利要求3所述的装置,其中所述吸收结构被制作在所述透明导电材料层的顶部上。

9.根据权利要求3所述的装置,其中所述吸收结构被印刷在所述透明导电材料层上。

10.根据权利要求3所述的装置,其中所述吸收结构包括多个块状元件,所述多个块状元件包括金属材料。

11.根据权利要求3所述的装置,其中所述吸收结构包括石墨烯。

12.根据权利要求3所述的装置,其中所述吸收结构包括多个石墨烯薄片。

13.根据权利要求3所述的装置,其中所述吸收结构包括多个块状金属元件和多个石墨烯薄片的组合。

14.根据权利要求3所述的装置,其中所述吸收结构以周期性阵列布置。

15.一种减小带电粒子束中的能量分布的宽度的方法,所述方法包括以下步骤:使所述束穿过由沿着所述束的路径延伸的结构所限定的空间体积,所述结构具有表面,所述表面设有超材料吸收体,所述超材料吸收体被布置为从所述带电粒子吸收能量。

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