[发明专利]洁净棚

权利要求书

1.一种洁净棚，在组装后的状态下，具备：构成基座、柱以及梁的框架；以及设于上述框架间并形成内部空间的壁部，

其特征在于，

还具备：

设于上述壁部且具有经由第一过滤器向上述内部空间内供气的第一风扇的第一单元；以及

设于上述壁部且具有经由第二过滤器向上述内部空间外排出上述内部空间内的空气的第二风扇的第二单元，

上述内部空间的地板是设置有上述洁净棚的建筑的地板，

在构成与该建筑的地板对置的上述基座的框架设有缓冲部件，

上述洁净棚还具备从交流电源转换的直流电源部，上述直流电源部分配为上述第一单元所具备的专用的供气用FFU电源部和上述第二单元所具备的专用的排气用FFU电源部，从而仅开始上述交流电源的供电，就能够开始上述洁净棚的室压的调整。

2.根据权利要求1所述的洁净棚，其特征在于，

上述第一单元设置在上述内部空间的位于上方的壁部，

上述第二单元设置在上述内部空间的位于侧方的壁部。

3.根据权利要求1所述的洁净棚，其特征在于，

上述第二单元具备对上述第二风扇发出指示的单元控制部，

上述单元控制部对上述第二风扇发出指示，以便由上述第二风扇排出的流量比由上述第一风扇供给的流量多，

上述第一风扇的旋转速度被控制为恒定速度。

4.根据权利要求2所述的洁净棚，其特征在于，

位于上述内部空间的上方的上述框架具备：配置在柱部件彼此之间的支柱部件；支撑于上述柱部件的第一梁部件；支撑于上述支柱部件的第二梁部件；以及固定于上述第一梁部件和上述第二梁部件的支撑部件，

上述第一单元固定于上述支撑部件。

5.根据权利要求1至4任一项中所述的洁净棚，其特征在于，

在上述壁部和与上述壁部抵接的上述框架设有面紧固件，

上述壁部和与上述壁部抵接的上述框架能够装卸。