[发明专利]用于使用张量分解及奇异值分解检验的系统及方法

权利要求书

1.一种样本特性化系统，其包括：

控制器，其通信地耦合到检验子系统，所述控制器包含经配置以执行存储于存储器中的程序指令集的一或多个处理器，所述程序指令集经配置以导致所述一或多个处理器：

获取样本的一或多个目标图像帧；

利用所述一或多个所获取目标图像帧来产生目标张量；

对所述目标张量执行第一组的一或多个分解过程以形成产生包含一或多个参考图像帧的一或多个参考张量；

识别所述一或多个目标图像帧与所述一或多个参考图像帧之间的一或多个差异；及

基于所述一或多个所识别差异来确定所述样本的一或多个特性。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一组的一或多个分解过程包括塔克分解过程。

3.根据权利要求2所述的系统，其中所述塔克分解过程包括多线性奇异值分解过程。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述控制器经配置以使用所述目标张量的列空间的第一标准化正交基底向量、所述目标张量的行空间的第二标准化正交基底向量及所述目标张量的堆叠空间的第三标准化正交基底向量对所述目标张量执行所述第一组的一或多个分解过程。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述控制器经配置以通过以下项产生所述一或多个参考张量：

执行用于实行所述一或多个分解过程的核心张量的一或多个低秩近似。

6.根据权利要求5所述的系统，其中所述控制器经配置以通过截断所述核心张量的至少一部分而执行所述一或多个低秩近似。

7.根据权利要求5所述的系统，其中所述控制器经配置以通过截断用于所述一或多个分解过程的一或多个标准化正交基底向量而执行所述一或多个低秩近似。

8.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个所识别特性包括所述样本的缺陷。

9.根据权利要求1所述的系统，其中所述控制器进一步经配置以：

产生经配置以基于所述一或多个所确定特性来选择性地调整一或多个过程工具的一或多个特性的一或多个控制信号。

10.根据权利要求1所述的系统，其中所述控制器进一步经配置以：

对所述目标张量执行第二组的一或多个分解过程以形成去噪声核心张量；及

对所述去噪声核心张量执行一或多个高秩近似以产生去噪声目标张量，所述去噪声目标张量包含一或多个去噪声目标图像帧。

11.根据权利要求10所述的系统，其中所述控制器进一步经配置以：

识别所述一或多个去噪声目标图像帧与所述一或多个参考图像帧之间的一或多个差异；及

基于所述一或多个所识别差异来确定所述样本的一或多个特性。

12.一种用于特性化样本的方法，其包括：

获取样本的一或多个目标图像帧；

利用所述一或多个所获取目标图像帧来产生目标张量；

对所述目标张量执行第一组的一或多个分解过程以产生包含一或多个参考图像帧的一或多个参考张量；

识别所述一或多个目标图像帧与所述一或多个参考图像帧之间的一或多个差异；及

基于所述一或多个所识别差异来确定所述样本的一或多个特性。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述第一组的一或多个分解过程包括塔克分解过程。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述塔克分解过程包括多线性奇异值分解过程。