[发明专利]介电弹性体换能器和介电弹性体换能器的制造方法

权利要求书

1.一种介电弹性体换能器，其具有介电弹性体层和夹着所述介电弹性体层的一对电极层，

所述电极层包含来自碳纳米管的粉碎碳颗粒。

2.根据权利要求1所述的介电弹性体换能器，其中，所述粉碎碳颗粒通过动态光散射法测定的粒度为0.5μm以上且1.5μm以下，并且通过激光散射法测定的粒度为15μm以上且70μm以下。

3.根据权利要求2所述的介电弹性体换能器，其中，所述粉碎碳颗粒通过动态光散射法测定的粒度与通过激光散射法测定的粒度的差为15μm以上。

4.根据权利要求3所述的介电弹性体换能器，其中，所述粉碎碳颗粒通过激光散射法测定的粒度与通过动态光散射法测定的粒度的比为15以上。

5.一种介电弹性体换能器的制造方法，其为具有介电弹性体层和夹着所述介电弹性体层的一对电极层的介电弹性体换能器的制造方法，

所述介电弹性体换能器的制造方法包括：

通过粉碎碳纳米管来生成粉碎碳颗粒的工序；以及，

将使用所述粉碎碳颗粒形成的所述一对电极层配置在所述介电弹性体层上的工序。

6.根据权利要求5所述的介电弹性体换能器的制造方法，其中，在生成所述粉碎碳颗粒的工序中，生成了通过动态光散射法测定的粒度为0.5μm以上且1.5μm以下、且通过激光散射法测定的粒度为15μm以上且70μm以下的所述粉碎碳颗粒。

7.根据权利要求6所述的介电弹性体换能器的制造方法，其中，在生成所述粉碎碳颗粒的工序中，生成了通过动态光散射法测定的粒度与通过激光散射法测定的粒度的差为15μm以上的所述粉碎碳颗粒。

8.根据权利要求7所述的介电弹性体换能器的制造方法，其中，在生成所述粉碎碳颗粒的工序中，生成了通过激光散射法测定的粒度与通过动态光散射法测定的粒度的比为15以上的所述粉碎碳颗粒。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的介电弹性体换能器的制造方法，其中，在生成所述粉碎碳颗粒的工序中，进行以下处理：

前处理，在溶剂中混合碳纳米管、使其分散而得到碳纳米管的第一分散液后，除去所述溶剂，由此得到粉末状的碳纳米管；

粉碎处理，粉碎所述粉末状的碳纳米管，在溶剂中混合经粉碎的碳纳米管，得到碳纳米管的第二分散液；以及，

提取处理，静置所述碳纳米管的第二分散液，提取靠近液面的部分。