[发明专利]超声波清洗装置

权利要求书

1.一种超声波清洗装置，通过朗之万型的多个超声波振子对清洗液施加超声波振动，经由被施加有所述超声波振动的清洗液来清洗被清洗物，且所述超声波清洗装置的特征在于，

所述多个超声波振子的一部分由附带状态监视功能的超声波振子构成，

所述附带状态监视功能的超声波振子包括：多个压电元件，以相互层叠的方式配置，且在所述层叠方向能够伸缩，

所述多个压电元件的一部分作为激振用压电元件被施加有交流电压而伸缩，

所述多个压电元件的另一部分作为状态监视用压电元件，以通过所述激振用压电元件的伸缩而能够输出用于状态监视的电压的方式，以经所述激振用压电元件加压的状态固定，

配置多个所述附带状态监视功能的超声波振子，根据自所配置的所述多个附带状态监视功能的超声波振子各自的所述状态监视用压电元件所输出的、所述电压的振幅或频率的至少任一者的变化，来监视配置于所述附带状态监视功能的超声波振子周围的所述超声波振子的状态，根据检测到所述变化的所述状态监视用压电元件的位置，来推测处于异常状态的所述超声波振子的位置。

2.根据权利要求1所述的超声波清洗装置，其特征在于，

所述附带状态监视功能的超声波振子的所述变化的检测是通过以下方式进行：

将自各个所述附带状态监视功能的超声波振子的所述状态监视用压电元件所输出的所述电压的振幅或频率的至少任一者、与所述超声波清洗装置的正常状态的驱动时自各个所述附带状态监视功能的超声波振子的所述状态监视用压电元件所输出的所述电压的振幅或频率的至少任一者进行比较。

3.根据权利要求1所述的超声波清洗装置，其特征在于，

根据自所述附带状态监视功能的超声波振子的所述状态监视用压电元件所输出的所述电压，对由配置于所述附带状态监视功能的超声波振子周围的各个所述超声波振子产生的超声波振动分别分析不同的电压波形，根据所述电压波形的振幅及相位来推定处于异常状态的超声波振子。

4.根据权利要求3所述的超声波清洗装置，其特征在于，

处于所述异常状态的超声波振子的推定是通过以下方式进行：根据所述电压波形的振幅减小来推定存在处于异常状态的超声波振子，且根据相位差来推定所述附带状态监视功能的超声波振子距所述处于异常状态的超声波振子的距离。

5.根据权利要求4所述的超声波清洗装置，其特征在于，

所述附带状态监视功能的超声波振子的所述异常状态下的超声波振子的推定是通过以下方式进行：

根据所述超声波清洗装置的正常状态的驱动时自所述附带状态监视功能的超声波振子的所述状态监视用压电元件所输出的所述电压，对由配置于所述附带状态监视功能的超声波振子周围的各个所述超声波振子产生的超声波振动分别分析不同的电压波形，并与所述电压波形的振幅及相位进行比较。