[发明专利]传递箱有效
| 申请号: | 202080003984.2 | 申请日: | 2020-06-10 |
| 公开(公告)号: | CN114096350B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
| 发明(设计)人: | 金子健;松村健史 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立产机系统 |
| 主分类号: | B01L1/00 | 分类号: | B01L1/00;A61L9/20;B01D46/12 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;梁霄颖 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 传递 | ||
1.一种传递箱,其用于相对于净化室交接物品,该传递箱的特征在于,包括:
上部传递箱和下部传递箱,
所述上部传递箱包括:
设置在上部的上部风机;
设置在所述上部风机的下游位置的上部HEPA过滤器;
设置在净化室侧的第一门;
设置在所述净化室的相反侧的污染区域侧的第二门;和
与所述第一门、所述第二门和所述上部HEPA过滤器一起形成用于物品交接的上部空间的上部收纳座,
所述下部传递箱设置在所述上部传递箱的下方,
该下部传递箱包括:
设置在所述上部空间的下游位置的下部HEPA过滤器;
设置在所述净化室侧的第三门;
设置在所述净化室的相反侧的污染区域侧的第四门;
与所述第三门、所述第四门和所述下部HEPA过滤器一起形成用于物品交接的下部空间的下部收纳座,
所述传递箱具有利用所述上部风机使通过了所述上部空间和所述下部空间的空气返回所述上部风机的、所述上部传递箱和所述下部传递箱共用的气流循环通路,
所述气流循环通路在所述上部传递箱的左右形成在形成所述上部空间的上部空间侧壁与所述传递箱的侧壁之间,且在所述下部传递箱的左右形成在形成所述下部空间的下部空间侧壁与所述传递箱的侧壁之间,使通过了所述下部空间的空气返回所述上部风机。
2.根据权利要求1所述的传递箱,其特征在于:
所述下部HEPA过滤器设置在所述第一门和所述第二门的下端与所述第三门和所述第四门的上端之间。
3.根据权利要求2所述的传递箱,其特征在于:
在所述上部空间与所述下部空间之间、且在所述下部HEPA过滤器的上方具有下部风机。
4.根据权利要求1所述的传递箱,其特征在于:
所述上部收纳座在周边部具有供空气通过的隙缝。
5.根据权利要求4所述的传递箱,其特征在于:
所述隙缝的数量在所述上部收纳座的周边侧比在所述上部收纳座的中心部侧大。
6.一种传递箱,其用于相对于净化室交接物品,该传递箱的特征在于,包括:
上部传递箱和下部传递箱,
所述上部传递箱包括:
设置在上部的上部风机;
设置在所述上部风机的下游位置的上部HEPA过滤器;
设置在净化室侧的第一门;
设置在所述净化室的相反侧的污染区域侧的第二门;和
与所述第一门、所述第二门和所述上部HEPA过滤器一起形成用于物品交接的上部空间的上部收纳座,
所述下部传递箱设置在所述上部传递箱的下方,
该下部传递箱包括:
设置在所述净化室侧的第三门;
设置在所述净化室的相反侧的污染区域侧的第四门;和
与所述第三门、所述第四门一起形成用于物品交接的下部空间的下部收纳座,
所述传递箱形成有:
使通过了所述上部空间的空气流向所述上部传递箱的侧壁方向的上部排气通路;和
在所述上部传递箱的侧壁与形成所述上部空间的上部空间侧壁之间,使从所述上部风机经由所述上部空间和所述上部排气通路的空气返回所述上部风机的第一气流循环通路,
而且所述传递箱形成有:从所述上部风机绕过所述上部空间,将空气送入所述下部空间的上部旁通路;和在所述传递箱的侧壁与形成所述下部空间的下部空间侧壁之间使空气返回所述上部风机的第二气流循环通路。
7.根据权利要求6所述的传递箱,其特征在于:
所述上部旁通路设置在所述上部传递箱的侧壁与形成所述上部空间的上部空间侧壁之间,具有用于与所述第一气流循环通路分离的分隔壁。
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