[发明专利]通过硼前体的热处理的氮化硼纳米管的制造方法及装置

权利要求书

1.一种氮化硼纳米管的制造方法，其特征在于，包括：

在设置于反应腔室的前端的投入腔室收容多个反应模块的步骤，上述多个反应模块收容贯通设置有至少一个前体块的托架；

向上述反应腔室的反应区移送收容于上述投入腔室的上述多个反应模块中的N个反应模块的步骤；

在上述反应腔室中以所设置的时间驱动上述反应区来使氮化硼纳米管在上述前体块生长的步骤；以及

若所设置的上述时间结束，则从上述反应腔室向设置于上述反应腔室的后端的排出腔室移送上述N个反应模块的步骤，

在向上述反应腔室的反应区移送收容于上述投入腔室的上述多个反应模块中的N个反应模块的步骤中，若从上述反应腔室向上述排出腔室移送上述N个反应模块，则从上述投入腔室向上述反应腔室移送上述多个反应模块中的新的N个反应模块，在将上述多个反应模块均向上述反应腔室移送的情况下，上述投入腔室的移送动作结束。

2.根据权利要求1所述的氮化硼纳米管的制造方法，其特征在于，

向上述反应腔室的反应区移送收容于上述投入腔室的上述多个反应模块中的N个反应模块的步骤包括使垂直排列的上述多个反应模块在上述投入腔室中沿着上述投入腔室的长度方向进行升降移动的步骤。

3.根据权利要求1所述的氮化硼纳米管的制造方法，其特征在于，

向上述反应腔室的反应区移送收容于上述投入腔室的上述多个反应模块中的N个反应模块的步骤包括使排列于循环轨道上的多个反应模块在上述投入腔室中沿着上述循环轨道进行循环移动的步骤。

4.一种氮化硼纳米管的制造方法，其特征在于，包括：

向反应腔室的反应区移送反应模块的步骤，上述反应模块收容贯通设置有至少一个前体块的托架；以及

使从配置于上述反应腔室内的至少两个供气管供给的含氮反应气体与上述前体块进行反应来使氮化硼纳米管生长的步骤，

在各个上述供气管的表面形成有沿着斜线方向开口的供气口。

5.根据权利要求4所述的氮化硼纳米管的制造方法，其特征在于，

上述供气管在沿着上述反应腔室的直径方向相向的位置形成一对且配置数量为偶数，一对上述供气管的供气口沿着各个供气管相互相反的方向开口。

6.根据权利要求4所述的氮化硼纳米管的制造方法，其特征在于，

在上述供气管中，形成于各个上述供气管的供气口以各个供气管相互交叉的方式形成。

7.根据权利要求4所述的氮化硼纳米管的制造方法，其特征在于，

形成于各个上述供气管的供气口形成有多个，沿着供气管的长度方向以等间隔配置于上述反应区。

8.一种氮化硼纳米管的制造装置，其特征在于，包括：

反应模块，收容贯通设置有至少一个前体块的托架；

反应腔室，形成有移送上述反应模块的移送路径，在上述移送路径上包括向上述前体块提供含氮反应气体的反应区；

投入腔室，设置于上述反应腔室的前端，收容多个反应模块，向上述反应腔室移送上述多个反应模块中的N个反应模块；以及

排出腔室，设置于上述反应腔室的后端，

上述反应腔室向上述排出腔室移送上述N个反应模块，

若从上述反应腔室向上述排出腔室移送上述N个反应模块，则上述投入腔室向上述反应腔室移送上述多个反应模块中的新的N个反应模块，在将上述多个反应模块均向上述反应腔室移送的情况下，上述投入腔室的移送动作结束。

9.根据权利要求8所述的氮化硼纳米管的制造装置，其特征在于，

上述投入腔室包括升降机，上述升降机垂直排列有用于安装上述多个反应模块的多个反应模块支架单元，使上述多个反应模块支架单元沿着上述投入腔室的长度方向升降移动。