[发明专利]显示基板及其制作方法、显示装置

说明书

一种显示基板及其制作方法、显示装置，其中，该显示基板包括硅基衬底和设置在硅基衬底上的彩膜层，硅基衬底内包含用于分别将显示区域和阴极环与绑定区域相连接的多条金属走线，彩膜层包括第一对位标记，第一对位标记为镂空结构；第一对位标记在硅基衬底上的投影和金属走线在硅基衬底上的投影包含重叠区域。

技术领域

本公开涉及但不限于显示技术领域，尤其涉及一种显示基板及其制作方法、显示装置。

背景技术

微型有机发光二极管(Micro Organic Light-Emitting Diode，Micro-OLED)是近年来发展起来的微型显示器，硅基OLED是其中一种。硅基OLED不仅可以实现像素的有源寻址，并且可以实现在硅基衬底上制备时序控制(TCON)电路、过电流保护(OCP)电路等多种功能电路，有利于减小系统体积，实现轻量化。硅基OLED采用成熟的互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS)集成电路工艺制备，具有体积小、高分辨率(PPI)、高刷新率等优点，广泛应用在虚拟现实(Virtual Reality，VR)或增强现实(Augmented Reality，AR)近眼显示领域中。

硅基OLED微显示面板的制作过程中，为了让绑定机台能精准稳定的绑定，需要在基板的对应位置设置供绑定机台对位的第一对位标记。由于第一对位标记一般采用阳极层金属或反射层金属制作，不仅第一对位标记与其他金属走线之间需要保持一定的间距，而且第一对位标记与其他金属走线之间还容易形成金属-绝缘层-金属(Metal-insulator-Metal，MIM)电容效应，引起电学击穿等不良。此外，应绑定机台要求，第一对位标记与绑定焊盘(Bonding Pad)的上侧边缘之间的间距需大于或等于预设的最小间距，即第一对位标记增加了基板的边缘(Border)区域，影响了整个母板的切割效率。

发明内容

以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。

本公开实施例提供了一种显示基板，包括：硅基衬底和设置在所述硅基衬底上的彩膜层，所述硅基衬底内包含用于分别将显示区域和阴极环与绑定区域相连接的多条金属走线，所述彩膜层包括第一对位标记；所述第一对位标记为镂空结构；所述第一对位标记在所述硅基衬底上的投影和所述金属走线在所述硅基衬底上的投影包含重叠区域。

在一些可能的实现方式中，所述显示区域的彩膜层包括呈阵列排布的第一颜色单元、第二颜色单元和第三颜色单元；所述显示区域之外的彩膜层包括呈整面结构的第一颜色单元、第二颜色单元、第三颜色单元中的至少一种。

在一些可能的实现方式中，所述显示区域之外的彩膜层包括依次叠层设置的第一颜色单元层和第二颜色单元层，所述第一颜色单元层和第二颜色单元层上包含相互贯穿的开孔，以通过所述开孔形成所述第一对位标记。

在一些可能的实现方式中，所述第一颜色单元层为蓝色滤光单元层，所述第二颜色单元层为红色滤光单元层。

在一些可能的实现方式中，所述第一对位标记的长度为50至150微米，所述第一对位标记的宽度为20至50微米，所述金属走线的宽度为50至150纳米，相邻金属走线的间隔为30至50纳米。

在一些可能的实现方式中，所述第一对位标记暴露出的金属走线的面积与所述第一对位标记的面积的比值大于或等于80％。